1月19日,湖南三安半導體項目最大單體M2B芯片廠房順利完成封頂,這標志著湖南省首個第三代半導體產(chǎn)業(yè)園項目(一期)Ⅰ標段完成全面封頂,國內(nèi)第一條碳化硅研發(fā)、生產(chǎn)全產(chǎn)業(yè)鏈生產(chǎn)線在長沙崛起。
據(jù)了解,該項目總投資160億元,分兩期建設,當前項目一期主要包含碳化硅長晶、襯底、外延、芯片、器件封裝等廠房及相關(guān)配套設施建設。
“項目全面建成投產(chǎn)后,將形成兩條并行的碳化硅研發(fā)、生產(chǎn)全產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)線,產(chǎn)品為高質(zhì)量、低成本、高穩(wěn)定性碳化硅襯底及各類器件。”湖南三安半導體有限責任公司項目管理部經(jīng)理張博若介紹,產(chǎn)品可廣泛用于新能源汽車、高鐵機車、航空航天和無線(5G)通訊等。
半導體由于其精密性,對環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動、ESD(靜電控制)、AMC(氣態(tài)分子級污染物)等都有一定的要求,芯片生產(chǎn)車間對于生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度非常挑剔。總包建設方中建五局三公司項目負責人周祥告訴記者,項目需要完成對空氣潔凈度有著高要求的7座單體,“其中襯底、外延廠房提出了‘千級’潔凈度的要求,而芯片廠房更是提出了‘百級’潔凈度的要求。”
周祥進一步解釋說:“所謂‘百級’潔凈,即每立方英尺的空氣中≥0.5微米粒徑的粒子數(shù)量不超過100個,堪比最高潔凈等級手術(shù)室的標準。”
“為了保證無塵潔凈室大面積生產(chǎn)車間的空氣潔凈度,我們需要做好華夫板,即利用樓板內(nèi)孔洞形成回風通道樓板的高精度施工,建立潔凈空調(diào)通風系統(tǒng)形成回風通道。”項目技術(shù)負責人陸建臻表示,項目在施工過程中每一步都會進行嚴格的技術(shù)復核、嚴格的施工過程技術(shù)控制。
陸建臻在現(xiàn)場介紹,芯片廠房華夫板厚度為70cm,可抗微震,“華夫板面積為14100平方米,其中澆筑有35000個直徑35cm的奇氏筒,相當于每2平方米就有5個用于換氣的圓形孔洞。”
“項目全部建成后,預計可實現(xiàn)年產(chǎn)值120億元以上,可直接提供4500個就業(yè)崗位,并帶動上下游配套產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值預計超1000億元,提供近10000個就業(yè)崗位。”張博若說。
據(jù)悉,該項目是湖南省落實國家相關(guān)政策,實施“三高四新”戰(zhàn)略的重要載體,憑借本項目完整的碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈布局和強大的制造平臺,將快速發(fā)展為具有自主知識產(chǎn)權(quán)、掌握核心技術(shù)與行業(yè)話語權(quán)、具有重要國際影響的碳化硅材料與器件產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)基地。項目的實施將推動湖南長沙先進半導體產(chǎn)業(yè)的壯大,促進形成新的經(jīng)濟增長點,助力湖南長沙在化合物半導體領域確立世界級領先地位。