3月10日，眾鴻半導(dǎo)體項(xiàng)目簽約儀式在上海臨港產(chǎn)業(yè)區(qū)公司舉辦。

 

圖片來源：上海臨港產(chǎn)業(yè)區(qū)

 

眾鴻半導(dǎo)體項(xiàng)目主要進(jìn)行光刻工藝的主設(shè)備——涂膠顯影設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化研發(fā)，現(xiàn)計(jì)劃入駐臨港產(chǎn)業(yè)區(qū)鉆石園8-2廠房進(jìn)行設(shè)備的批量生產(chǎn)使用。據(jù)介紹，項(xiàng)目計(jì)劃在臨港產(chǎn)業(yè)區(qū)鉆石園新增生產(chǎn)廠房作為設(shè)備量產(chǎn)場(chǎng)所，2021-2023計(jì)劃投入12寸涂膠顯影設(shè)備以及其他半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)并量產(chǎn)化。

 

上海眾鴻半導(dǎo)體設(shè)備有限公司（以下簡(jiǎn)稱“眾鴻半導(dǎo)體”）為上海眾鴻電子科技有限公司全資子公司，于2019年01月在臨港自由貿(mào)易新片區(qū)成立。

 

上海臨港產(chǎn)業(yè)區(qū)消息顯示，眾鴻半導(dǎo)體拳頭產(chǎn)品是專用光阻涂膠顯影設(shè)備。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于硅片（Si）、化合物半導(dǎo)體：砷化鎵（GaAs)，氮化鎵（GaN)，碳化硅（SiC)等集成電路制造領(lǐng)域。成立至今，眾鴻半導(dǎo)體已獲得專利37項(xiàng)，合作客戶有中芯國(guó)際、臺(tái)積電、 三安集成、積塔半導(dǎo)體、華潤(rùn)上華、長(zhǎng)電科技、通富微、塞萊克斯等。

 

據(jù)介紹，眾鴻半導(dǎo)體致力于研發(fā)與制造更適合中國(guó)企業(yè)應(yīng)用的涂膠顯影設(shè)備，將全力以赴為集成電路工藝設(shè)備國(guó)產(chǎn)化出力，推動(dòng)涂膠顯影設(shè)備的進(jìn)口替代在臨港新片區(qū)起航，助力“東方芯港”打造集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)體系。