日前,至純科技旗下合肥至微半導(dǎo)體有限公司已收到排污許可證,這意味著其晶圓再生項(xiàng)目正式進(jìn)入試生產(chǎn)階段。項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后將形成年產(chǎn)168萬片晶圓再生和120萬件半導(dǎo)體腔體零部件再生產(chǎn)能。
至純科技表示,該工廠為服務(wù)于國內(nèi)半導(dǎo)體高階市場的首條投產(chǎn)12英寸晶圓再生產(chǎn)線,且目前已獲得用戶意向訂單,期待著進(jìn)入接下來的正式生產(chǎn)階段。項(xiàng)目完全達(dá)產(chǎn)后,將形成年產(chǎn)168萬片晶圓再生和120萬件半導(dǎo)體腔體零部件再生產(chǎn)能。