6月29日,浙江海芯微半導(dǎo)體科技有限公司300毫米晶圓核心特種工藝生產(chǎn)線項(xiàng)目(以下簡(jiǎn)稱“海芯微項(xiàng)目”)FAB廠房主體結(jié)構(gòu)正式封頂。
據(jù)悉,海芯微300毫米晶圓生產(chǎn)線項(xiàng)目于2020年9月26日開工建設(shè),項(xiàng)目總投資額為100億元,占地122畝,總部位于海寧市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)??偖a(chǎn)能為每月10萬片晶圓;其中一期投資55.72億元,達(dá)產(chǎn)后每月5萬片。該項(xiàng)目將根據(jù)實(shí)施情況,通過與國際領(lǐng)先代工企業(yè)、研究所和高校以聯(lián)合開發(fā)三維納米晶圓級(jí)堆疊工藝技術(shù)和技術(shù)引進(jìn)的方式進(jìn)行合作。
建成后,海芯微將是中國第一座專注異構(gòu)單芯片集成及相關(guān)特種工藝的300mm晶圓生產(chǎn)線,擁有三維芯片堆疊的設(shè)計(jì)和工藝集成技術(shù),并擁有晶圓級(jí)(包括晶粒對(duì)晶圓和晶圓對(duì)晶圓)三維堆疊所需要的核心特種工藝及大規(guī)模量產(chǎn)能力。