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北大集成電路學(xué)院PEALD設(shè)備采購項(xiàng)目中標(biāo)結(jié)果公示

日期:2022-05-17 來源:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)閱讀:381
核心提示:據(jù)悉,北京大學(xué)集成電路學(xué)院等離子體增強(qiáng)原子層沉積設(shè)備采購項(xiàng)目中標(biāo)結(jié)果公示。
據(jù)悉,北京大學(xué)集成電路學(xué)院等離子體增強(qiáng)原子層沉積設(shè)備采購項(xiàng)目中標(biāo)結(jié)果公示。

消息顯示,該項(xiàng)目中標(biāo)供應(yīng)商為西安思密康電子科技有限公司,中標(biāo)貨物為1套等離子體增強(qiáng)原子層沉積設(shè)備,貨物品牌為PicosunOy,中標(biāo)金額328.98萬元。
 
據(jù)該項(xiàng)目招標(biāo)公告,所采購的設(shè)備用于國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目、國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目,用于研究新結(jié)構(gòu)氧化物半導(dǎo)體器件、鐵電場效應(yīng)晶體存儲(chǔ)器和三維集成技術(shù)等。 
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