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湖北中用電子年產(chǎn)10000噸電子氣體項目開工,總投資21.6億元,

日期:2022-06-28 閱讀:525
核心提示:日前,湖北省宜都市舉行全市2022年6月重大項目開工暨湖北中用電子新材料有限公司年產(chǎn)10000噸電子氣體項目開工儀式。
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)獲悉,日前,湖北省宜都市舉行全市2022年6月重大項目開工暨湖北中用電子新材料有限公司年產(chǎn)10000噸電子氣體項目開工儀式。本次開工項目35個,總投資105億元。
 
消息顯示,湖北中用電子新材料有限公司生產(chǎn)的相關(guān)含氟電子氣體及混配氣是電子信息材料領(lǐng)域?qū)S貌牧希饕糜诎雽?dǎo)體行業(yè)的清洗、蝕刻、摻雜、成膜等工藝。該項目由湖北中用電子新材料有限公司投資建設(shè),項目選址宜都化工園,總投資21.6億元,分兩期建設(shè)。
 
據(jù)悉,項目一期投資5.6億元,年生產(chǎn)3500噸電子氣體,預(yù)計2023年8月建成投產(chǎn);項目二期計劃投資16億元,占地面積100畝,預(yù)計2025年建設(shè)年產(chǎn)6500噸新型含氟電子氣體生產(chǎn)裝置,兩期合計產(chǎn)能10000噸/年。
 
今年4月11日,宜昌市生態(tài)環(huán)境局進行湖北中用年產(chǎn)3500噸電子特種氣體新建項目環(huán)境影響評價第一次公示。當(dāng)時信息顯示,項目年產(chǎn)2000噸六氟化鎢、600噸電子級六氟化硫、200噸電子級氟化氫、100噸電子級三氟化硼、200噸電子級八氟環(huán)丁烷、200噸電子級六氟乙烷、200噸電子級混和氣。 
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