據(jù)悉，近日，中微公司在南昌舉辦新廠落成儀式，宣布其旗下全資子公司南昌中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司（以下簡稱“南昌中微”）的生產(chǎn)研發(fā)基地項目正式建成并投入使用。該項目于2019年啟動建設(shè)，占地面積約130畝，目前已投產(chǎn)的一期項目建筑面積約14萬平方米。

 

資料顯示，中微公司于2017年落戶南昌高新區(qū)，成立全資子公司南昌中微，并于2018年9月順利實現(xiàn)量產(chǎn)。南昌中微生產(chǎn)的用于 LED和功率器件外延片生產(chǎn)的 MOCVD 設(shè)備持續(xù)獲得客戶與市場的廣泛認可。

 

2021年，南昌中微推出了為Mini-LED量產(chǎn)而設(shè)計的Prismo UniMax? MOCVD設(shè)備主要用于氮化鎵（GaN）基Mini LED外延片量產(chǎn)，同年其設(shè)備訂單超100腔，并入選江西省科技成果轉(zhuǎn)化十大典型案例。

 

中微公司開發(fā)的等離子體刻蝕設(shè)備和化學(xué)薄膜設(shè)備是制造各種微觀器件的關(guān)鍵設(shè)備，可加工微米級和納米級的各種器件。其等離子體刻蝕設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于國際一線客戶先進工藝的眾多刻蝕應(yīng)用，中微公司開發(fā)的用于LED和功率器件外延片生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備已在客戶生產(chǎn)線上投入量產(chǎn)