2月27日,深圳市第三代半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)園揭牌儀式在寶安石巖街道舉行。據(jù)悉,該項(xiàng)目為廣東省2022年和2023年重點(diǎn)建設(shè)項(xiàng)目、深圳市2022年和2023年重大項(xiàng)目,是深圳加快第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要布局。
該項(xiàng)目重點(diǎn)布局6英寸碳化硅單晶襯底和外延生產(chǎn)線,滿產(chǎn)后預(yù)期產(chǎn)能分別達(dá)到10萬(wàn)片/年和25萬(wàn)片/年,將依托項(xiàng)目實(shí)施方深圳市重投天科半導(dǎo)體有限公司強(qiáng)大的科研實(shí)力和雄厚的資本支撐,著力打造國(guó)際先進(jìn)國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的第三代半導(dǎo)體碳化硅材料生產(chǎn)基地,高水平推動(dòng)深圳建設(shè)全國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展“第三極”。
據(jù)悉,以碳化硅為代表的第三代寬禁帶半導(dǎo)體材料是繼硅以后最有行業(yè)前景的半導(dǎo)體材料之一,主要應(yīng)用于5G通信、新能源汽車、電力電子以及大功率轉(zhuǎn)換領(lǐng)域等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。
此次揭牌的深圳市第三代半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)園總投資32.7億元,用地面積約7.3萬(wàn)平方米,建筑面積約17.9萬(wàn)平方米。據(jù)介紹,襯底產(chǎn)線已于去年6月正式進(jìn)入試運(yùn)行階段,并先后于10月達(dá)產(chǎn)、12月滿產(chǎn),超額完成年內(nèi)生產(chǎn)任務(wù)。目前,外延各環(huán)節(jié)工藝設(shè)備安裝與調(diào)試按計(jì)劃有序進(jìn)行,預(yù)計(jì)2024年襯底和外延產(chǎn)能達(dá)25萬(wàn)片。
近年來(lái),寶安將半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)作為重點(diǎn)布局,推動(dòng)上下游企業(yè)快速集聚、聚勢(shì)發(fā)展,產(chǎn)業(yè)規(guī)模不斷擴(kuò)大,初步形成了包括設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)、設(shè)備、材料在內(nèi)的全產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)鏈,已成長(zhǎng)為寶安5個(gè)千億級(jí)產(chǎn)業(yè)集群之一。據(jù)悉,寶安2023年半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)增加值接近200億元,約占全市的1/3,集群增加值、規(guī)上企業(yè)數(shù)量均為全市第一。