近日，隨著最后一根鋼梁吊裝就位，拓荊科技（上海）半導(dǎo)體先進(jìn)工藝裝備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”主體鋼結(jié)構(gòu)全面完工，喜封金頂。

臨港新片區(qū)高科處二級(jí)調(diào)研員王佩華，拓荊科技（上海）總經(jīng)理陳新益，地產(chǎn)閔虹黨委書(shū)記、執(zhí)行董事馮曉明，地產(chǎn)閔虹副總經(jīng)理、閔聯(lián)臨港公司董事長(zhǎng)劉焙等領(lǐng)導(dǎo)及嘉賓共同見(jiàn)證了這一重要時(shí)刻。

拓荊科技（上海）有限公司（以下簡(jiǎn)稱“公司”）成立于2020年12月，是拓荊科技股份有限公司（股票代碼：688072）在臨港設(shè)立的全資子公司。公司注冊(cè)資金4.8億元人民幣，主要從事高端集成電路薄膜裝備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售。

公司聚焦半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備，是國(guó)內(nèi)專(zhuān)用量產(chǎn)型PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD設(shè)備領(lǐng)軍企業(yè)。經(jīng)過(guò)十余年的耕耘，公司形成了多項(xiàng)核心技術(shù)，設(shè)備產(chǎn)品達(dá)到國(guó)際同類(lèi)產(chǎn)品先進(jìn)水平，并在集成電路領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，為促進(jìn)我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展作出貢獻(xiàn)。

本項(xiàng)目計(jì)劃總投資9.3億元，建筑面積約10萬(wàn)㎡，用于開(kāi)發(fā)先進(jìn)的ALD薄膜工藝技術(shù)及高產(chǎn)能設(shè)備平臺(tái)，并實(shí)現(xiàn)以臨港為中心客戶群所需半導(dǎo)體設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化。拓荊上海將以市場(chǎng)需求為導(dǎo)向，開(kāi)展自主研發(fā)，突破核心技術(shù)，形成100%自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)產(chǎn)品并實(shí)施產(chǎn)業(yè)化，為新片區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展貢獻(xiàn)力量！