6月6日，SISPARK（蘇州國(guó)際科技園）項(xiàng)目——芯達(dá)半導(dǎo)體設(shè)備（蘇州）有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“芯達(dá)半導(dǎo)體”）與吉林求是光譜數(shù)據(jù)科技有限公司合作簽約，雙方就供應(yīng)鏈關(guān)系達(dá)成合作之后，國(guó)產(chǎn)前道涂膠顯影設(shè)備將首次進(jìn)入OCF國(guó)際供應(yīng)鏈，標(biāo)志著可視化芯片彩色光刻膠涂膠工藝設(shè)備國(guó)產(chǎn)化實(shí)現(xiàn)“零突破”，進(jìn)一步加速推進(jìn)半導(dǎo)體關(guān)鍵核心裝備國(guó)產(chǎn)化，助推園區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。

蘇州工業(yè)園區(qū)黨工委委員、管委會(huì)副主任倪乾，園區(qū)科技創(chuàng)新委員會(huì)黨組書(shū)記、主任潘瑜，金雞湖商務(wù)區(qū)黨工委委員、管委會(huì)副主任邵靜，科技創(chuàng)新委員會(huì)副主任楊小波，SISPARK董事長(zhǎng)、總裁張峰等出席了簽約儀式。

芯達(dá)半導(dǎo)體是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備制造商，2021年落戶園區(qū)，致力于半導(dǎo)體前道制程—涂膠顯影設(shè)備的研發(fā)和制造，主要產(chǎn)品為半導(dǎo)體光刻工藝用涂膠顯影機(jī)（track）。

芯達(dá)半導(dǎo)體核心研發(fā)團(tuán)隊(duì)擁有20年以上專(zhuān)業(yè)經(jīng)驗(yàn)，建有3500平米的研發(fā)及生產(chǎn)場(chǎng)地。公司以Semi標(biāo)準(zhǔn)調(diào)度平臺(tái)軟件和控制系統(tǒng)技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)高端涂膠顯影機(jī)架構(gòu)和部件模塊的調(diào)度控制，通過(guò)高精度、高產(chǎn)能光刻產(chǎn)品的架構(gòu)平臺(tái)技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)疊層模塊架構(gòu)設(shè)備的生產(chǎn)和環(huán)境控制。目前產(chǎn)品從涂膠顯影機(jī)整體架構(gòu)到單元零部件已完全實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化，可替代國(guó)外28nm以上光刻工藝進(jìn)口產(chǎn)品，并能提供從整機(jī)到工藝解決方案的一系列服務(wù)。

公司計(jì)劃未來(lái)三年內(nèi)完成14—28nm設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、測(cè)試和銷(xiāo)售，夯實(shí)前道高端FAB的涂膠顯影機(jī)的技術(shù)和市場(chǎng)布局，預(yù)計(jì)五年內(nèi)的總研發(fā)投入將超億元。

集成電路產(chǎn)業(yè)是蘇州工業(yè)園區(qū)大力發(fā)展的新興產(chǎn)業(yè)之一，早在2005年，園區(qū)就被認(rèn)定為首批國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)園，經(jīng)過(guò)多年發(fā)展，目前已形成了以芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造、封裝測(cè)試為核心，以設(shè)備、原材料及服務(wù)產(chǎn)業(yè)為支撐的完整產(chǎn)業(yè)鏈條，成為國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈較完整、企業(yè)集聚度較高、人才儲(chǔ)備和技術(shù)開(kāi)發(fā)水平較領(lǐng)先的區(qū)域。截至去年，園區(qū)已集聚集成電路重點(diǎn)企業(yè)200余家，產(chǎn)業(yè)規(guī)模突破880億元。

SISPARK是園區(qū)最早布局集成電路設(shè)計(jì)的科技載體，依托園區(qū)良好的產(chǎn)業(yè)環(huán)境和政策扶持，SISPARK形成了堅(jiān)實(shí)的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)，涌現(xiàn)出一批解決關(guān)鍵領(lǐng)域“卡脖子”難題、實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代的重要?jiǎng)?chuàng)新成果。

芯達(dá)半導(dǎo)體總經(jīng)理王陽(yáng)表示：落戶蘇州工業(yè)園區(qū)后，SISPARK團(tuán)隊(duì)始終想企業(yè)之所想，為公司順利落戶和業(yè)務(wù)發(fā)展提供了很多幫助。例如SISPARK團(tuán)隊(duì)為芯達(dá)半導(dǎo)體提供工廠場(chǎng)地、人才政策等支撐，協(xié)助芯達(dá)半導(dǎo)體完成工廠基建以及設(shè)備安裝調(diào)試；另一方面，在SISPARK團(tuán)隊(duì)的引薦下，園區(qū)領(lǐng)軍創(chuàng)投、園區(qū)元禾原點(diǎn)、蘇州市國(guó)發(fā)創(chuàng)投等蘇州市重點(diǎn)投資機(jī)構(gòu)均為芯達(dá)半導(dǎo)體提供了資金支持，讓公司專(zhuān)注于核心技術(shù)的研發(fā)和突破。未來(lái)，公司將用技術(shù)和成果回饋社會(huì)，為中國(guó)的先進(jìn)半導(dǎo)體制程事業(yè)添磚加瓦。

下一步，SISPARK將持續(xù)堅(jiān)持科技創(chuàng)新第一動(dòng)力，助力園區(qū)夯實(shí)產(chǎn)業(yè)發(fā)展基礎(chǔ)，不斷提升產(chǎn)業(yè)服務(wù)，優(yōu)化營(yíng)商環(huán)境，助力企業(yè)成長(zhǎng)，為建設(shè)開(kāi)放創(chuàng)新的世界一流高科技園區(qū)注入強(qiáng)勁動(dòng)力。