9月11日下午,通潮精密控股子公司晶海熱瓷投資的半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件項(xiàng)目正式落地合肥經(jīng)開(kāi)區(qū)。
通潮精密機(jī)械股份有限公司成立于2016年,致力于泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵設(shè)備部件的研發(fā)及生產(chǎn),產(chǎn)品主要應(yīng)用于泛半導(dǎo)體薄膜工藝、刻蝕工藝等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié),也是國(guó)內(nèi)首家將面板領(lǐng)域CVD設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備電極部件國(guó)產(chǎn)化的企業(yè)。
晶海熱瓷項(xiàng)目規(guī)劃總投資數(shù)億元人民幣,主要研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售半導(dǎo)體設(shè)備用陶瓷加熱器及結(jié)構(gòu)件、各類(lèi)金屬加熱器等產(chǎn)品。