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【視頻報告 2018】Kazuhiro OHKAWA教授:AlGaN 材料MOCVD生長優(yōu)化和反應(yīng)器設(shè)計

視頻SSLCHINA2025-01-10 11:58
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特阿卜杜拉國王科技大學(xué)的Kazuhiro OHKAWA教授介紹了《AlGaN 材料MOCVD生長優(yōu)化和反應(yīng)器設(shè)計》研究報告。報告中,在較寬的壓力、Al /(Ga + Al)比例和溫度范圍內(nèi)成功仿真AlGaN生長。考慮到適量聚合物的形成,仿真中AlGaN的生長速率和組分與實驗中的非常一致。這一技術(shù)使我們有可能優(yōu)化氮化物MOCVD并設(shè)計升級反應(yīng)器。
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