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汪洋：半導體用SiC涂層石墨托盤的制備與國產(chǎn)化
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WBSC 2021
2025-01-10 11:58
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《半導體用SiC涂層石墨托盤的制備與國產(chǎn)化》作者：汪洋，萬強單位：湖南德智新材料有限公司，南京工業(yè)大學材料科學與工程學院
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