隨著中國“芯”浪潮的推進，半導(dǎo)體國產(chǎn)替代進程也已進入到白熱化狀態(tài)。萬業(yè)企業(yè)（600641）旗下凱世通半導(dǎo)體作為本土唯一全領(lǐng)域離子注入機企業(yè)，穩(wěn)扎穩(wěn)打地深耕于國產(chǎn)核心設(shè)備行業(yè)，致力于將公司打造成中國集成電路裝備的大國重器。

近日，東方財經(jīng)《科創(chuàng)先行者》欄目到訪萬業(yè)企業(yè)旗下凱世通進行采訪。進一步了解到，凱世通已研發(fā)出最新的集成電路離子注入機，其定位是超高先進半導(dǎo)體工藝的低能大束流，將于年底將進行量產(chǎn)。在摩爾定律的推動下，集成電路的線寬將不斷縮小以應(yīng)對元器件集成度大幅提高的要求下，這也意味著凱世通的超高先進工藝設(shè)備將幫助芯片制造技術(shù)性能升級，進一步印證公司在離子注入工藝領(lǐng)域內(nèi)遙遙領(lǐng)先。

圖：凱世通低能大束流離子注入機

據(jù)了解，離子注入在芯片制造前道工藝中是不可或缺的工藝，而低能大束流離子注入機更是半導(dǎo)體制造中最為核心設(shè)備之一，其開發(fā)難度僅次于光刻機，存在較高的行業(yè)競爭壁壘，而凱世通是國內(nèi)唯一全領(lǐng)域離子注入機公司，產(chǎn)品覆蓋集成電路、光伏和AMOLED領(lǐng)域等。

凱世通總經(jīng)理陳克祿博士表示，“公司自主研發(fā)的低能大束流離子注入機不僅要國產(chǎn)替代，而且要領(lǐng)先全球。”目前該產(chǎn)品在低能和大束流等核心指標，特別是束流強度指標上，已達到或超過國外同類產(chǎn)品，因此可更好的降低單位成本消耗，滿足國內(nèi)集成電路行業(yè)實際應(yīng)用。目前該產(chǎn)品也已順利進入離子注入晶圓驗證階段，將于今年年底將實現(xiàn)量產(chǎn)，這標志著公司具備先進制程的低能大束流離子注入整機工藝驗證的能力，未來有望為全球先進制程邏輯、存儲、5G射頻、攝像頭CIS、功率半導(dǎo)體等不同應(yīng)用領(lǐng)域芯片客戶提供離子注入工藝驗證服務(wù)。

此外，值得關(guān)注的是凱世通自主研發(fā)的低能大束流集成電路離子注入機榮獲了北京市科學(xué)技術(shù)獎技術(shù)進步一等獎。同時，凱世通“高能離子注入機關(guān)鍵技術(shù)研究與樣機驗證”項目也被正式列入上海市2019年度“科技創(chuàng)新行動計劃”集成電路領(lǐng)域立項項目清單。因其在集成電路裝備領(lǐng)域的戰(zhàn)略地位和代表意義，該項目入選了上海市科技小巨人工程，榮膺上海市政府頒發(fā)的“上海市科學(xué)技術(shù)獎”、浦東新區(qū)政府頒發(fā)的“上海市浦東新區(qū)科學(xué)技術(shù)獎”等諸多獎項。

圖：凱世通百級潔凈室驗證中心

陳克祿博士還介紹到，公司聚焦于集成電路，研發(fā)上采取“領(lǐng)先一步”的策略，以離子束技術(shù)為核心研發(fā)了三種不同類型的離子注入機設(shè)備，主要應(yīng)用在集成電路、光伏、AMOLED領(lǐng)域。同時，陳克祿博士攜記者參觀了部分樣機，其中展示的光伏離子注入機經(jīng)過了四代迭代，產(chǎn)能已經(jīng)達到每小時6000片，目前全球市占率超過93%，在光伏行業(yè)內(nèi)具備絕對的競爭優(yōu)勢。

來源：半導(dǎo)體行業(yè)聯(lián)盟