12月29日，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司” 證券代碼：688012）公告稱，公司基于經(jīng)營戰(zhàn)略發(fā)展考慮，公司擬以現(xiàn)金方式向睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司（以下簡稱“上海睿勵(lì)”）增資1億元，認(rèn)購上海睿勵(lì)新增注冊(cè)資本 83,333,333.33 元人民幣，認(rèn)購單價(jià)為1.2元股（注冊(cè)資本）。本次增資完成后，上海睿勵(lì)注冊(cè)資本從344,608,548.15 元人民幣增加至 427,941,881.48 元人民幣，公司持有上海睿勵(lì)股權(quán)比例為20.4467%。
中微公司表示，本次公司對(duì)外投資，系公司為完善業(yè)務(wù)布局而進(jìn)行，該事項(xiàng)的發(fā)生有其必要性和合理性，符合公司經(jīng)營發(fā)展的需要，不會(huì)對(duì)公司財(cái)務(wù)和經(jīng)營產(chǎn)生不利影響，不存在損害上市公司及全體股東特別是中小股東利益的情形。
中微公司表示，本次公司對(duì)外投資，系公司為完善業(yè)務(wù)布局而進(jìn)行，該事項(xiàng)的發(fā)生有其必要性和合理性，符合公司經(jīng)營發(fā)展的需要，不會(huì)對(duì)公司財(cái)務(wù)和經(jīng)營產(chǎn)生不利影響，不存在損害上市公司及全體股東特別是中小股東利益的情形。
據(jù)了解，中微公司是我國一家以中國為基地、面向全球的高端半導(dǎo)體微觀加工設(shè)備公司，是我國集成電路設(shè)備行業(yè)的領(lǐng)先企業(yè)。公司聚焦用于集成電路、LED芯片等微觀器件領(lǐng)域的等離子體刻蝕設(shè)備、深硅刻蝕設(shè)備和MOCVD設(shè)備等關(guān)鍵設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。公司產(chǎn)品定位于高端半導(dǎo)體設(shè)備，在刻蝕設(shè)備方面，公司設(shè)備已應(yīng)用于全球先進(jìn)的7納米和5納米集成電路加工制造生產(chǎn)線；在MOCVD設(shè)備領(lǐng)域，公司MOCVD設(shè)備持續(xù)在行業(yè)領(lǐng)先客戶生產(chǎn)線上大規(guī)模投入量產(chǎn)，保持在行業(yè)內(nèi)的領(lǐng)先地位。公司的創(chuàng)始團(tuán)隊(duì)及技術(shù)人員擁有國際領(lǐng)先半導(dǎo)體設(shè)備公司的從業(yè)經(jīng)驗(yàn)，是具有國際化優(yōu)勢(shì)的半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)和運(yùn)營團(tuán)隊(duì)之一，公司始終保持大額的研發(fā)投入和較高的研發(fā)投入占比，多年來積累了深厚的技術(shù)儲(chǔ)備和豐富的研發(fā)經(jīng)驗(yàn)。
上海睿勵(lì)成立于 2005 年 6 月 27 日，上海睿勵(lì)致力于集成電路生產(chǎn)前道工藝檢測(cè)領(lǐng)域設(shè)備研發(fā)和生產(chǎn)，是國內(nèi)少數(shù)幾家進(jìn)入國際領(lǐng)先的 12 英寸生產(chǎn)線的高端裝備企業(yè)之一，并且是國內(nèi)唯一進(jìn)入某韓國領(lǐng)先芯片生產(chǎn)企業(yè)的國產(chǎn)集成電路設(shè)備企業(yè)。上海睿勵(lì)主營的產(chǎn)品為光學(xué)膜厚測(cè)量設(shè)備和光學(xué)缺陷檢測(cè)設(shè)備，以及硅片厚度及翹曲測(cè)量設(shè)備等。上海睿勵(lì)自主研發(fā)的 12 英寸光學(xué)測(cè)量設(shè)備 TFX3000 系列產(chǎn)品，已應(yīng)用在 65/55/40/28 納米芯片生產(chǎn)線并在進(jìn)行了 14 納米工藝驗(yàn)證，在 3D存儲(chǔ)芯片產(chǎn)線支持 64 層 3D NAND 芯片的生產(chǎn)，并正在驗(yàn)證 96 層 3D NAND 芯片的測(cè)量性能。上海睿勵(lì)應(yīng)用于 LED 藍(lán)寶石襯底圖形檢測(cè)的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，也已成功銷售到眾多國內(nèi) LED PSS 襯底和 LED 芯片生產(chǎn)線。
目前，上海睿勵(lì)正在開發(fā)下一代可支持更高階芯片制程工藝的膜厚和 OCD 測(cè)量設(shè)備以及應(yīng)用于集成電路芯片生產(chǎn)的缺陷檢測(cè)設(shè)備，進(jìn)一步擴(kuò)大可服務(wù)的市場(chǎng)規(guī)模。截止 2020 年 11 月 30 日，上海睿勵(lì)擁有專利 87 項(xiàng)，軟件著作權(quán) 39 項(xiàng)，注冊(cè)商標(biāo) 8 項(xiàng)，作品著作權(quán) 1 項(xiàng)及備案域名 2 項(xiàng)。
集成電路芯片生產(chǎn)設(shè)備包括光刻、刻蝕、薄膜、工藝檢測(cè)、清洗、離子注入等諸多個(gè)細(xì)分種類。工藝檢測(cè)設(shè)備是為芯片生產(chǎn)各工藝提供監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)以確保各項(xiàng)工藝指標(biāo)滿足要求從而提高成品率的關(guān)鍵性設(shè)備。根據(jù)SEMI發(fā)布的近幾年的年度統(tǒng)計(jì)，工藝檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模約占半導(dǎo)體芯片制造工藝設(shè)備的13%，是僅次于光刻、刻蝕和薄膜的第四大細(xì)分設(shè)備領(lǐng)域。隨著芯片工藝不斷向更小節(jié)點(diǎn)發(fā)展，芯片生產(chǎn)過程中的所需檢測(cè)的步驟和頻次越來越高，對(duì)工藝檢測(cè)設(shè)備的需求量隨之增加。
中微公司表示，公司在集成電路刻蝕設(shè)備領(lǐng)域的研發(fā)和市場(chǎng)化方面已經(jīng)取得了一定的成果，前期通過投資國內(nèi)領(lǐng)先的薄膜設(shè)備公司沈陽拓荊科技有限公司在集成電路薄膜設(shè)備領(lǐng)域進(jìn)行了布局。本次投資上海睿勵(lì)將使公司能夠布局集成電路工藝檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域。公司同上海睿勵(lì)的客戶和供應(yīng)商有高度重疊，通過本次投資，能進(jìn)一步形成產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同效應(yīng)。投資上海睿勵(lì)是公司聚焦并落實(shí)高端芯片設(shè)備戰(zhàn)略的又一步驟，系公司為完善業(yè)務(wù)布局而進(jìn)行的投資。通過對(duì)上海睿勵(lì)的投資，公司有望與上海睿勵(lì)形成協(xié)同發(fā)展效應(yīng)，不會(huì)損害公司和全體股東的利益。
此外，中微公司近期還入股了另一家半導(dǎo)體設(shè)備廠商——上海理想萬里暉薄膜設(shè)備有限公司（以下簡稱“理想萬里暉”）。
資料顯示，12月24日，理想萬里暉發(fā)生了股權(quán)變更，原股東之一理想能源設(shè)備（上海）有限公司退出，新增中微公司、三峽綠色產(chǎn)業(yè)（山東）股權(quán)投資合伙企業(yè)（有限合伙）、上海毅達(dá)鑫業(yè)一號(hào)股權(quán)投資基金合伙企業(yè)（有限合伙）等股東，其注冊(cè)資本從8455.33萬元增至1.46億元。中微公司本次認(rèn)繳出資額為約563.689萬元，持有理想萬里暉3.8499%股權(quán)。
資料顯示，理想萬里暉前身是理想能源PECVD事業(yè)部，2012年經(jīng)過拆分重組，于2013年完成注冊(cè)。2020年，理想萬里暉完成A+輪融資，并落戶上海臨港新片區(qū)。理想萬里暉主營太陽能、泛半導(dǎo)體和半導(dǎo)體高端PECVD裝備，系列光伏和AMOLED顯示等領(lǐng)域高端PECVD系列產(chǎn)品多次打破國外壟斷、填補(bǔ)國內(nèi)空白。理想萬里暉表示將繼續(xù)致力于前沿高端光伏設(shè)備的研發(fā)，并將在現(xiàn)有基礎(chǔ)上延伸產(chǎn)業(yè)鏈，開發(fā)大面積石墨烯和集成電路半導(dǎo)體領(lǐng)域用PECVD設(shè)備。
