據(jù)了解，該項(xiàng)目位于長沙高新區(qū)白馬鎮(zhèn)許龍路西側(cè)，總投資160億，總占地面積1000畝，規(guī)劃主附建筑物81棟，分兩期建設(shè)。當(dāng)前項(xiàng)目一期由中建五局三公司負(fù)責(zé)施工建設(shè)，主要包含碳化硅長晶、襯底、外延、芯片、器件封裝等廠房及相關(guān)配套設(shè)施建設(shè)。項(xiàng)目全面建成投產(chǎn)后將形成兩條并行的碳化硅研發(fā)、生產(chǎn)全產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)線，產(chǎn)品為高質(zhì)量、低成本、高穩(wěn)定性碳化硅襯底及各類器件，可廣泛用于新能源汽車、高鐵機(jī)車、航空航天和無線（5G）通訊等。半導(dǎo)體由于其精密性，對環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動(dòng)、ESD(靜電控制)、AMC(氣態(tài)分子級污染物)等都有一定的要求，芯片生產(chǎn)車間對于生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度要求都非常嚴(yán)格。為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求，生產(chǎn)車間必須達(dá)到潔凈車間的標(biāo)準(zhǔn)。

 

“三安半導(dǎo)體項(xiàng)目建成后將服務(wù)于技術(shù)密集型半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，對空氣潔凈度提出了很高要求。我們需要完成對空氣潔凈度有著高要求的7座單體，其中襯底、外延廠房提出了“千級”潔凈度的要求，而芯片廠房更是提出了‘百級’潔凈度的要求。”總包建設(shè)方中建五局三公司項(xiàng)目負(fù)責(zé)人周祥介紹到。所謂“百級”潔凈，即每立方英尺的空氣中≥0.5微米粒徑的粒子數(shù)量不超過100個(gè)，堪比最高潔凈等級手術(shù)室的標(biāo)準(zhǔn)。

 

記者了解到，潔凈標(biāo)準(zhǔn)一般按照十級、百級、千級、萬級、十萬級、三十萬級……劃分，數(shù)值越小，代表凈化級別越高。普通公共場所殺菌消毒可參照三十萬級標(biāo)準(zhǔn)，醫(yī)院ICU病房殺菌消毒參照十萬級標(biāo)準(zhǔn)，而中建五局三公司承建的湖南三安半導(dǎo)體項(xiàng)目中M2B碳化硅芯片廠房為百級標(biāo)準(zhǔn)，對空氣潔凈度有著極高要求。項(xiàng)目技術(shù)負(fù)責(zé)人陸建臻介紹到；“為保證無塵潔凈室大面積生產(chǎn)車間的空氣潔凈度，我們需要做好華夫板（利用樓板內(nèi)孔洞形成回風(fēng)通道的樓板）高精度施工，建立潔凈空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)形成回風(fēng)通道。為此，項(xiàng)目在施工過程中每一步都會(huì)進(jìn)行嚴(yán)格的技術(shù)復(fù)核、嚴(yán)格的施工過程技術(shù)控制。”據(jù)了解，芯片廠房華夫板厚度為70cm，可抗微震。華夫板面積為1.41萬平方米，其中澆筑有35000個(gè)直徑35cm的奇氏筒，相當(dāng)于每2㎡就有5個(gè)用于換氣的圓形孔洞，屆時(shí)芯片產(chǎn)線將布置于華夫板之上，整個(gè)車間利用新風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)氣保證正壓，并通過華夫板回風(fēng)通道排氣，以此保證車間潔凈度。據(jù)悉，該項(xiàng)目全部建成后預(yù)計(jì)可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)值120億元以上，可提供4500個(gè)就業(yè)崗位，預(yù)計(jì)將帶動(dòng)上下游配套產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值超1000億。項(xiàng)目的實(shí)施，將推動(dòng)湖南長沙先進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的壯大，助力長沙成為碳化硅市場和化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域在國內(nèi)的領(lǐng)先地位。