面向未來智能社會(huì)所需的信息通信，電力電子，自動(dòng)駕駛等領(lǐng)域，近年來第三代功率半導(dǎo)體材料（SiC，GaN等）具有更寬的禁帶寬度、更高的導(dǎo)熱率、更高的抗輻射能力、更大的電子飽和漂移速率等特性，已經(jīng)成為最有潛能的新一代材料。

 

近日，2021功率半導(dǎo)體與車用LED技術(shù)創(chuàng)新應(yīng)用論壇在上海舉行。本屆論壇由半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)和勵(lì)展博覽集團(tuán)共同主辦，并得到第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟、國家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟的指導(dǎo)。

會(huì)上，愛發(fā)科商貿(mào)（上海）有限公司市場(chǎng)總監(jiān)李茂林帶來了“碳化硅功率器件制造中ULVAC的量產(chǎn)技術(shù)”的主題報(bào)告，分享了針對(duì)SiC功率器件制造的量產(chǎn)技術(shù)。

 

愛發(fā)科商貿(mào)(上海)有限公司的經(jīng)營內(nèi)容涉及設(shè)備銷售面向平板顯示（TFT-LCD、AM-OLED、Micro-LED）、太陽能電池（SHJ、CIGS等）、集成電路（LOGIC、Memory）、電子元器件（IGBT、SiC功率器件、MEMS、SAW/BAW等）、觸摸屏、真空冶金、真空包裝、研究開發(fā)等領(lǐng)域的設(shè)備。售后服務(wù)涉及設(shè)備安裝調(diào)試、定期保養(yǎng)、維護(hù)維修、零部件銷售、設(shè)備改造、零部件清洗等。以及國內(nèi)外集團(tuán)公司產(chǎn)品銷售及售后服務(wù)，各種靶材的銷售等其他業(yè)務(wù)。

 

真空技術(shù)在功率器件領(lǐng)域有其作用，ULVAC集團(tuán)是致力于全球知名真空薄膜技術(shù)的供應(yīng)商，特別在SiC功率器件領(lǐng)域具有三十余年的薄膜制造技術(shù)經(jīng)驗(yàn)。報(bào)告詳細(xì)分享了SiC功率器件制造過程中的ULVAC設(shè)備和技術(shù)整體解決方案，詳細(xì)說明了高溫離子注入技術(shù)、碳膜濺射技術(shù)及高溫退火技術(shù)是不同于硅基器件的特殊工藝制程。