2019年7月,日本針對(duì)三種半導(dǎo)體材料對(duì)韓國(guó)實(shí)施出口管制,其中包含用于極紫外(EUV)光刻工藝的光刻膠。據(jù)悉為降低對(duì)日本的依賴(lài),三星SDI近期已經(jīng)開(kāi)始開(kāi)發(fā)半導(dǎo)體光刻膠。
據(jù)BusinessKorea報(bào)道,三星SDI最近為其研究中心的光刻膠開(kāi)發(fā)引入了8英寸晶圓光刻和涂膠顯影設(shè)備。該公司此舉旨在將幾乎由日本壟斷的半導(dǎo)體光刻膠的生產(chǎn)內(nèi)部化,并使旗下電子材料業(yè)務(wù)的單一產(chǎn)品組合變得多樣化。
目前,日本東京應(yīng)化、JSR、住友化學(xué)、信越化學(xué)等日企握有全球九成半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)份額。東京應(yīng)化在g線/i線和Krf光刻膠領(lǐng)域居龍頭地位, JSR在Arf光刻膠領(lǐng)域市占率最高。
韓媒指出,三星SDI開(kāi)發(fā)半導(dǎo)體光刻膠的舉措將對(duì)韓國(guó)持續(xù)推進(jìn)的材料國(guó)產(chǎn)化產(chǎn)生重大影響。
在韓國(guó)當(dāng)?shù)?,Dongjin Semichem和SK Materials Performance等光刻膠供應(yīng)商一直在為本土化生產(chǎn)而努力。然而,許多行業(yè)專(zhuān)家指出,韓國(guó)需要投入更多的資金和人力成本,才能成為核心半導(dǎo)體材料的中心。
行業(yè)分析人士指出,如果三星SDI進(jìn)入該領(lǐng)域并大規(guī)模生產(chǎn)光刻膠,將大大增強(qiáng)韓國(guó)的半導(dǎo)體材料研究基礎(chǔ)設(shè)施。
但三星SDI并未透露光刻膠開(kāi)發(fā)計(jì)劃的啟動(dòng)和完成時(shí)間。該公司僅表示,在完成光刻膠開(kāi)發(fā)后,不僅將向三星電子提供新產(chǎn)品,還將向其他半導(dǎo)體公司及使用光刻膠的公司供貨。
三星SDI的一位高管表示,“我們一直在開(kāi)發(fā)各種類(lèi)型的光刻膠,包括 EUV光刻膠。”不過(guò),光刻膠的商業(yè)化時(shí)間及具體細(xì)節(jié)還未敲定。