近日,露笑科技在投資者關系活動中表示,合肥工廠9月份可實現(xiàn)6英寸導電型碳化硅襯底片的小批量試生產(chǎn)。
有投資者提問:目前公司在合肥投資的碳化硅工廠進度如何?如何理解公司碳化硅襯底片目前已經(jīng)送樣檢測通過這個技術環(huán)節(jié)?
露笑科技表示,公司已全面掌握6英寸導電型碳化硅晶體生長工藝參數(shù)之間的各種耦合關系,確定了各工藝參數(shù)的優(yōu)值,中試線生長成品率達到40%,具備了可重復、可批量生長碳化硅晶體的設備以及技術條件。其中露笑科技提供100%國產(chǎn)化的晶體生長設備,目前已根據(jù)工藝的改進,對長晶爐進行了三代優(yōu)化,完成了設備定型。這次合肥項目一期100臺設備已經(jīng)完成出廠調試,預計7月底在合肥工廠完成安裝調試。襯底片已通過多 家第三方單位的測試,已達到了P級標準。隨著襯底加工設備、清洗設備、測試設備等的逐步到位,以及加工工藝的進一步優(yōu)化,合肥工廠9月份可實現(xiàn)6英寸導電型碳化硅襯底片的小批量試生產(chǎn)。
同時說明一點,車規(guī)級導電型碳化硅襯底片開發(fā)目前是世界級難題,是真正卡脖子的技術,需要全行業(yè)的人沉下心來、深耕細作。如何提高產(chǎn)率,如何穩(wěn)定質量,如何規(guī)?;a(chǎn)業(yè)化,怎樣進一步降低成本,價格如何降低到整個行業(yè)可以普及等等一系列問題,行業(yè)上還有很長的路要走。露笑科技正在為此努力,力爭年底前形成規(guī)?;慨a(chǎn)能力。