近日，由北京海創(chuàng)微芯科技有限公司牽頭，聯(lián)合北京賽萊克斯國際科技有限公司、北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司、北京中科賽微電子科技有限公司組建的先進(jìn)MEMS工藝設(shè)計(jì)與服務(wù)北京市工程研究中心正式獲得北京市發(fā)改委批復(fù)。

 

圖片該中心針對(duì)我國MEMS工藝制造起步晚、能力不足的瓶頸問題，聯(lián)合產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)和科研院所等機(jī)構(gòu)，圍繞MEMS器件制造關(guān)鍵工藝和工程化實(shí)現(xiàn)的核心技術(shù)，將通過搭建先進(jìn)MEMS工藝研發(fā)體系、打造中試公共服務(wù)中心、引進(jìn)吸收國際先進(jìn)MEMS代工技術(shù)、培養(yǎng)MEMS工藝和設(shè)備制造人才等路徑來填補(bǔ)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新各環(huán)節(jié)間的脫節(jié)與斷層，形成有效的自主創(chuàng)新機(jī)制，形成產(chǎn)品需求到能力建設(shè)再到推動(dòng)行業(yè)發(fā)展的良性循環(huán)，吸引一批MEMS產(chǎn)品設(shè)計(jì)公司在北京聚集，實(shí)現(xiàn)6英寸MEMS產(chǎn)品中試到8英寸MEMS產(chǎn)品量產(chǎn)的連貫銜接，整合各方資源協(xié)同發(fā)展北京市智能傳感器千億級(jí)產(chǎn)業(yè)。