近日，北京經(jīng)開區(qū)企業(yè)北京科翰龍裝備技術(shù)股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“科翰龍”）自主研發(fā)的晶圓打碼機(jī)WM-SC800R通過(guò)驗(yàn)收。

 

北京亦莊消息稱，這是國(guó)內(nèi)首臺(tái)通過(guò)FAB廠（通常指半導(dǎo)體工廠）驗(yàn)收的具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的晶圓(Wafer)ID打碼設(shè)備。晶圓(Wafer)ID打碼設(shè)備實(shí)現(xiàn)從“零”的突破，并突破了“卡脖子”環(huán)節(jié)，在自主可控道路上邁出關(guān)鍵一步。

 

圖片來(lái)源：北京亦莊

 

據(jù)了解，晶圓(Wafer)ID打碼設(shè)備新產(chǎn)品通過(guò)驗(yàn)收是一個(gè)十分漫長(zhǎng)的過(guò)程。兩年前，晶圓打碼機(jī)WM-SC800R就在FAB廠的8英寸集成電路晶圓生產(chǎn)線上進(jìn)行晶圓(Wafer)ID軟打碼測(cè)試及試生產(chǎn)。檢測(cè)結(jié)果優(yōu)良，該晶圓打碼機(jī)所加工的晶圓(Wafer)ID碼完全達(dá)到了SEMI（半導(dǎo)體設(shè)備與材料的國(guó)際性組織）標(biāo)準(zhǔn)的要求，達(dá)到了用戶關(guān)于軟打碼顆粒數(shù)的要求，完全達(dá)到了ISO 1級(jí)環(huán)境下的要求。

 

經(jīng)過(guò)兩年的測(cè)驗(yàn)，今年8月，晶圓打碼機(jī)WM-SC800R正式通過(guò)驗(yàn)收。

 

北京亦莊消息顯示，科翰龍副總經(jīng)理王向陽(yáng)表示，為了打破國(guó)外公司在相關(guān)領(lǐng)域的長(zhǎng)期壟斷，科翰龍利用自己的技術(shù)優(yōu)勢(shì)研發(fā)了晶圓(Wafer)ID打碼設(shè)備。WM-SC800R在激光器的選用、光路的設(shè)計(jì)、晶圓定位的方法、設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)以及設(shè)備的整體控制及軟件編程上都是自主設(shè)計(jì)開發(fā)的，具有完全的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

 

王向陽(yáng)強(qiáng)調(diào)，無(wú)論是在知識(shí)產(chǎn)權(quán)還是設(shè)備主要部件方面，WM-SC800R都做到了自主可控，不易被國(guó)外卡脖子。