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晶合集成申請半導(dǎo)體專利,能提高半導(dǎo)體器件的穩(wěn)定性和平衡性

日期:2024-05-30 閱讀:580
核心提示:合肥晶合集成電路股份有限公司申請一項名為“一種半導(dǎo)體器件的制作方法“

 據(jù)國家知識產(chǎn)權(quán)局公告,合肥晶合集成電路股份有限公司申請一項名為“一種半導(dǎo)體器件的制作方法“,公開號CN202410458342.1,申請日期為2024年4月。

專利摘要顯示,本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體器件的制作方法,屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。所述制作方法包括:提供一襯底,包括用于形成PMOS晶體管的第一區(qū)域和用于形成NMOS晶體管的第二區(qū)域;在襯底上形成多個偽柵極,分別設(shè)置在第一區(qū)域和第二區(qū)域上;在襯底上形成介質(zhì)層,介質(zhì)層的表面與偽柵極的表面齊平;去除偽柵極,形成凹部;在介質(zhì)層、凹部的底部和側(cè)壁上依次形成第一金屬功函數(shù)層和第二金屬功函數(shù)層;還原第二區(qū)域上的第二金屬功函數(shù)層,形成還原層;去除還原層;在第一區(qū)域的第二金屬功函數(shù)層上以及第二區(qū)域的第一金屬功函數(shù)層上形成金屬導(dǎo)電層。通過本發(fā)明提供的一種半導(dǎo)體器件的制作方法,能夠提高半導(dǎo)體器件的穩(wěn)定性和平衡性。

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