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【CASICON 2021】南京大學(xué)徐尉宗:面向高可靠性、高能效應(yīng)用的GaN HEMT增強(qiáng)型器件技術(shù)

日期:2021-09-18 來源:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)閱讀:617
核心提示:報(bào)告從p-GaN帽層增強(qiáng)型器件柵壓擺幅受限的物理機(jī)制分析出發(fā),結(jié)合新型柵極結(jié)構(gòu)方案設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,包括反向pn結(jié)帽層結(jié)構(gòu)、極化摻雜p型帽層結(jié)構(gòu)等,系統(tǒng)討論柵極設(shè)計(jì)對(duì)器件可靠性及動(dòng)態(tài)損耗的影響規(guī)律,總結(jié)出潛在的面向高可靠性、高能效應(yīng)用的GaN HEMT增強(qiáng)型器件技術(shù)。
電能已逐漸成為21世紀(jì)最重要的能源載體,電能形式的轉(zhuǎn)換無所不在,核心是功率電子器件.功率電子器件發(fā)展需求是高功率密度、高能效、高可靠性。
 
9月13-14日,“2021中國(南京)功率與射頻半導(dǎo)體技術(shù)市場應(yīng)用峰會(huì)(CASICON 2021)”在南京召開。本屆峰會(huì)由半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)主辦,并得到了南京大學(xué)、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟的指導(dǎo)。
徐尉宗
會(huì)上,南京大學(xué)副研究員徐尉宗帶來了“面向高可靠性、高能效應(yīng)用的GaN HEMT增強(qiáng)型器件技術(shù)”的主題報(bào)告,報(bào)告從p-GaN帽層增強(qiáng)型器件柵壓擺幅受限的物理機(jī)制分析出發(fā),結(jié)合新型柵極結(jié)構(gòu)方案設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,包括pn結(jié)帽層結(jié)構(gòu)、極化摻雜p型帽層結(jié)構(gòu)等,系統(tǒng)討論柵極設(shè)計(jì)對(duì)器件可靠性及動(dòng)態(tài)損耗的影響規(guī)律,總結(jié)出潛在的面向高可靠性、高能效應(yīng)用的GaN HEMT增強(qiáng)型器件技術(shù)。
 
同時(shí),報(bào)告系統(tǒng)分析了無體二極管的器件結(jié)構(gòu)對(duì)GaN HEMT器件反向續(xù)流以及抗瞬態(tài)能量沖擊能力的影響,并結(jié)合所在團(tuán)隊(duì)在GaN功率二極管方面的研究成果,總結(jié)介紹了具有高可靠、高能效優(yōu)勢的AlGaN/GaN基功率電子集成方案。
 
報(bào)告指出,有限的正柵壓擺幅是限制p型帽層結(jié)構(gòu)增強(qiáng)型GaN HEMT器件可靠性的重要因素;采用pn結(jié)帽層結(jié)構(gòu)、以及基于漸變In組分InGaN材料實(shí)現(xiàn)的p型極化摻雜帽層結(jié)構(gòu)可有效抑制器件在正向柵壓下的柵極漏電流,并提升柵極正向擊穿電壓。高柵極耐壓一方面可以提高器件的柵極可靠性,特別是面對(duì)高dv/dt開關(guān)條件下的柵壓振蕩或過沖;同時(shí),也兼容更成熟、成本也更低的10-12V柵極驅(qū)動(dòng)方案,可實(shí)現(xiàn)器件更高柵壓的工作,不僅可以增加器件的工作電流,還可以獲得更快的器件開啟過程,實(shí)現(xiàn)器件動(dòng)態(tài)開關(guān)損耗的降低。
 
另一方面,與功率MOSFET通過體二極管實(shí)現(xiàn)器件反向續(xù)流以及對(duì)瞬態(tài)能量的雪崩泄放不同,GaN HEMT器件中由于沒有體二極管,雖然可以通過第三象限工作進(jìn)行反向續(xù)流,但相應(yīng)開啟電壓偏高,因此能耗較高;同時(shí),AlGaN/GaN異質(zhì)結(jié)器件并不具備雪崩擊穿泄放能力,其在瞬態(tài)能量沖擊下主要通過LC振蕩實(shí)現(xiàn)能量耗散,但相應(yīng)的振蕩電流和非鉗位電壓會(huì)帶來新的器件可靠性問題。針對(duì)上述關(guān)鍵問題,研究團(tuán)隊(duì)通過混合陽極結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了具有低開啟電壓和瞬態(tài)能量沖擊下阻性泄放能力的AlGaN/GaN肖特基勢壘二極管器件,通過與GaN E-HEMT源漏端的反向并聯(lián),可以在降低開關(guān)管反向?qū)〒p耗的同時(shí),提高器件抗瞬態(tài)能量沖擊的能力,有利于實(shí)現(xiàn)更可靠的AlGaN/GaN基功率器件及集成應(yīng)用。
 
嘉賓簡介
 
徐尉宗,博士,從事寬禁帶半導(dǎo)體材料與器件研究,主要研究方向:GaN基功率電子器件、寬禁帶半導(dǎo)體基光電子器件。在國內(nèi)外重要學(xué)術(shù)期刊上發(fā)表論文40余篇,其中以第一作者/通訊作者在IEEE EDL/TPE, Nano Letters等國際知名期刊上發(fā)表學(xué)術(shù)論文19篇,主持國家自然科學(xué)基金青年項(xiàng)目及省部級(jí)項(xiàng)目4項(xiàng)。
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