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院士專家、知名學者企業(yè)代表齊聚廈門,把脈寬禁帶半導體前沿機遇與挑戰(zhàn)

日期:2021-11-10 來源:半導體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)閱讀:2197
核心提示:2021年11月7-10日,以芯動力 新征程寬禁帶半導體的機遇與挑戰(zhàn)為主題的第四屆全國寬禁帶半導體學術(shù)會議在廈門盛大召開。大會現(xiàn)場
2021年11月7-10日,以“芯動力 新征程——寬禁帶半導體的機遇與挑戰(zhàn)”為主題的第四屆全國寬禁帶半導體學術(shù)會議在廈門盛大召開。
 
 
 
近年來,寬禁帶半導體已成為全球高技術(shù)競爭戰(zhàn)略制高點之一,國際半導體及材料領域研究和發(fā)展的熱點,基于寬禁帶半導體材料,半導體照明已經(jīng)形成巨大規(guī)模的產(chǎn)業(yè),并在電子功率器件領域繼續(xù)深入發(fā)展。本屆會議由中國有色金屬學會寬禁帶半導體專業(yè)委員會、中國電子學會電子材料學分會、第三代半導體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)聯(lián)合主辦,廈門大學、南京大學承辦,福建省半導體光電材料及其高效轉(zhuǎn)換器件協(xié)同創(chuàng)新中心、福建省半導體材料及應用重點實驗室、廈門市未來顯示技術(shù)研究院、廈門大學物理科學與技術(shù)學院、微納光電子材料與器件教育部工程研究中心、半導體照明聯(lián)合創(chuàng)新國家重點實驗室、北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進中心有限公司全力協(xié)辦。
 
其中,中科潞安、亞格盛電子、中微公司、先普、奧趨光電、Crystal、昂坤視覺、南大光電、Novel Crystal、中鎵半導體、金竟科技、力冠微電子裝備、良允科技、化合積電、志橙半導體、南京伯奢詠懷、上海翱晶、卓立漢光、納維科技、尚勤光電、邁塔光電、中電化合物、恒普真空、鎵特半導體、中紫半導體、泰克科技、鵬城半導體、鴻陽科技、JAPAN CREATE、江蘇第三代半導體研究院、元旭半導體在內(nèi)的國內(nèi)外知名廠商的參與展示,以及來自國內(nèi)寬禁帶半導體領域?qū)W術(shù)界、產(chǎn)業(yè)界的專家學者、科研技術(shù)人員、院校師生、企業(yè)家代表近150家單位超500人參與。圍繞寬禁帶半導體材料生長技術(shù)、材料結(jié)構(gòu)與物性、光電子和電子器件研發(fā)以及相關(guān)設備研發(fā)等領域開展廣泛交流,促進產(chǎn)學研用的交流合作。
 
開幕式
 
 
開幕大會
 
在11月8日上午召開的開幕大會上,中國科學院院士、國家自然科學基金委員會信息科學部主任、西安電子科技大學教授郝躍,大會主席、第三代半導體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟理事長、國家半導體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟理事長吳玲,大會主席、廈門大學校長張榮教授,集美大學黨委書記沈燦煌,廈門市科技局局長孔曙光,中國有色金屬學會寬禁帶專業(yè)委員會常務副主任、北大東莞光電研究院常務副院長、北京大學教授張國義,半導體照明聯(lián)合創(chuàng)新國家重點實驗室主任、中國科學院半導體研究所研究員李晉閩,北京大學理學部副主任沈波教授,江蘇第三代半導體研究院院長、中科院蘇州納米所副所長徐科研究員,國家電網(wǎng)全球能源互聯(lián)網(wǎng)研究院原副院長、廈門大學講座教授邱宇峰,東北師范大學副校長徐海陽教授,第三代半導體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟秘書長于坤山,三安光電股份有限公司總經(jīng)理林科闖,廈門光莆電子股份有限公司董事長林瑞梅等一大批國內(nèi)寬禁帶半導體領域業(yè)界資深專家、教授和優(yōu)秀中青年學者、以及產(chǎn)業(yè)界科研技術(shù)人員、機構(gòu)嘉賓、院校師生、企業(yè)家代表等超500人參與本次學術(shù)盛會。
 全景
大會現(xiàn)場
 
在8日上午召開的開幕式上,廈門大學校長張榮教授,中科院院士、國家自然科學基金委信息學部主任、西安電子科技大學教授郝躍,中國有色金屬學會寬禁帶專業(yè)委員會常務副主任、北大東莞光電研究院常務副院長、北京大學教授張國義,第三代半導體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟理事長、國家半導體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟理事長吳玲,廈門科技局孔曙光局長先后為大會致開幕詞。因新冠肺炎疫情阻隔,諾貝爾物理學獎獲得者天野浩(Hiroshi Amano)教授通過視頻方式為本屆會議致辭。
 
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廈門大學校長張榮教授
 
張榮校長致辭時表示,廈門大學是國內(nèi)最早創(chuàng)辦半導體學科的高校之一,廈門大學半導體研究和廈門半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展共同進步,在政府和產(chǎn)業(yè)的支持下不斷取得新進展,利用地緣優(yōu)勢,廈門大學與當?shù)氐娜补怆?、光莆電子、乾照光電等企業(yè)聯(lián)合攻關(guān),重點開展關(guān)于基于寬禁帶半導體的固態(tài)照明光源、深紫外消殺技術(shù)等方面的交流合作,推動寬禁帶半導體的技術(shù)轉(zhuǎn)化和創(chuàng)新。今年是國家“十四五”的開局之年,站在新起點,新征程上,如何邁好我國寬禁帶半導體發(fā)展的步伐至關(guān)重要,面對當前的科技博弈,科技的自立自強,是應對風險挑戰(zhàn)的必然選擇。
 
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中科院院士、國家自然科學基金委信息學部主任、西安電子科技大學教授郝躍
 
郝躍院士致辭時表示,寬禁帶半導體被列為國家“十四五”發(fā)展規(guī)劃中,國家自然科學基金委非常關(guān)注寬禁帶與超寬禁帶半導體的發(fā)展,希望從基礎研究的角度不斷推進寬禁帶和超寬禁帶半導體的發(fā)展,先從重大項目群開始,成熟后考慮再推進重大研究計劃,推進寬禁帶和超寬禁帶半導體基礎研究的關(guān)鍵和核心技術(shù)的突破,利用這次機會,希望廣大業(yè)界同仁可以探討寬禁帶半導體的發(fā)展,以及如何利用好機遇,不斷推進產(chǎn)業(yè)的進步和發(fā)展。
 
中國有色金屬學會寬禁帶專業(yè)委員會常務副主任、北大東莞光電研究院常務副院長、北京大學教授張國義
 
張國義教授致辭時表示,以碳化硅、氮化鎵等為代表的寬禁帶半導體發(fā)展是國際熱點,在半導體照明領域已經(jīng)形成規(guī)?;漠a(chǎn)業(yè),在功率器件和射頻器件方面不斷深入發(fā)展,氮化鎵、金剛石等為代表的新材料半導體迅速發(fā)展,一些新的材料正在擴展,寬禁帶半導體未來會越來越寬廣。會議對于促進交流,協(xié)同創(chuàng)新起到了積極的作用,也得到高度認可,影響力日益增大,希望大家通過此次會議廣泛的討論交流,發(fā)現(xiàn)合作機會,實現(xiàn)優(yōu)勢互補,助力我國搶占寬禁帶半導體國際戰(zhàn)略制高點,推動科學技術(shù)發(fā)展進步。
 
 
諾貝爾物理學獎獲得者天野浩(Hiroshi Amano)教授
 
Amano教授視頻致辭時表示,寬禁帶半導體在解決全球性的問題上,正變得越來越重要,比如硅基功率器件面臨的不足,可以利用寬禁帶半導體來解決,基于寬禁帶半導體的高頻晶體管能夠為5G甚至是5G之后的無線通信系統(tǒng)提供支持,此外,還可以用于抑制新型冠狀肺炎傳播的深紫外消毒器制備。深信會議能圓滿成功,所有與會者都能享受到精彩的演講和熱烈的討論,并啟迪下一步的創(chuàng)新和研發(fā)。
 
 
第三代半導體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟理事長、國家半導體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟理事長吳玲
 
吳玲理事長致辭時表示,從國際形勢來看,我們面臨非常嚴峻的發(fā)展環(huán)境,半導體在科技創(chuàng)新,產(chǎn)業(yè)發(fā)展方面到了一個很關(guān)鍵的時期,寬禁帶半導體不僅僅在支撐雙碳實現(xiàn),支撐數(shù)字化,智能化以及產(chǎn)業(yè)提升等方面具有非常重要的作用,而且如果能和我國巨大的能源,交通,信息,智能制造巨大市場需求相結(jié)合,有可能形成在全球的技術(shù)優(yōu)勢和產(chǎn)業(yè)制衡,重塑全球半導體產(chǎn)業(yè)格局。第三代半導體的發(fā)展對業(yè)界同仁也是千載難逢的機遇,希望大家利用好這次會議的平臺充分交流討論,推動政產(chǎn)學研深度融合,以及學科的交叉融合發(fā)展,也希望廈門利用好這次機會,如同推動半導體照明產(chǎn)業(yè)發(fā)展一樣,再次做出表率。
 
 
廈門科技局孔曙光局長
 
孔曙光局長致辭時表示,寬禁帶半導體的發(fā)展速度非???,廈門產(chǎn)業(yè)發(fā)展基礎好,發(fā)展速度快,經(jīng)過多年的發(fā)展,在光電領域已經(jīng)有很好的積累,在發(fā)展寬禁帶半導體中具有優(yōu)勢。2019年廈門就啟動了未來產(chǎn)業(yè)培育工程,進行搶先布局,第三代半導體是其中之一,力爭2025年實現(xiàn)第三代半導體產(chǎn)業(yè)相關(guān)的產(chǎn)值能達到200億元以上,目前也形成了碳化硅和氮化鎵兩條產(chǎn)業(yè)鏈,廈門也積極推動布局,增大原始創(chuàng)新能力,希望大家共同努力,共創(chuàng)美好明天。
 
中科院院士、西安電子科技大學郝躍教授分享大會報告
 
中科院院士、國家自然科學基金委信息學部主任、西安電子科技大學郝躍教授帶來了“寬禁帶半導體電子器件新進展”的主題報告;三安光電股份有限公司林科闖總經(jīng)理帶來了“大功率GaN藍綠激光器芯片設計、生長和制作 ”的主題報告;廈門大學校長張榮教授介紹了基于寬禁帶半導體量子結(jié)構(gòu)的物理效應與器件應用;中國科學院半導體研究所李晉閩研究員帶來了“紫外LED研發(fā)及應用進展”的主題報告;廈門大學講座教授邱宇峰分享了18 kV SiC IGBT的研制;TKK創(chuàng)新實驗室教授Yogi Ota分享了寬帶隙半導體、研發(fā)歷史和實踐。幾大精彩主題報告,從技術(shù)、產(chǎn)業(yè),趨勢的角度,廣度與深度結(jié)合,高屋建瓴,酣暢淋漓,帶來一場知識與認知的激蕩。
 
郝躍院士在報告中指出:“如今從世界范圍來看,寬禁帶半導體越來越得到重視,以氮化鎵和碳化硅為代表的寬禁帶半導體開始進入發(fā)展成熟期,已經(jīng)從研究階段逐步向產(chǎn)業(yè)化發(fā)展,其中寬禁帶半導體商用化程度越來越高,包括氮化鎵、碳化硅等,而超寬禁帶半導體包括金剛石、氧化鎵和氮化鋁等研究也有了進展。”同時在報告中也詳細分享高頻與超高頻電子器件,毫米波GaN SBD、高線性GaN半導體器件,低電壓GaN半導體器件-5G/6G射頻終端器件,Si基GaN—高阻低損耗低翹曲外延與器件技術(shù),超臨界流體提高4H-SiC MOSFET器件性能等最新進展以及相關(guān)成果。
 
 
廈門大學校長張榮教授分享大會報告
 
量子結(jié)構(gòu)材料與器件是近年來光電信息功能材料與器件研制的前沿,廈門大學校長張榮教授在報告中,詳細分享了基于寬禁帶半導體量子結(jié)構(gòu)的物理效應與器件應用的最新進展以及研究成果,涉及到半導體帶隙工程、態(tài)密度工程與元激發(fā)工程,利用帶隙工程提升器件光電性能,利用態(tài)密度工程改善光發(fā)射性能,基于元激發(fā)工程的新型發(fā)光器件等。報告指出,利用帶隙工程提升器件光電性能,固溶體技術(shù)、異質(zhì)結(jié)構(gòu)以及極化誘導的能帶剪裁,支撐了高效率RGB發(fā)光二極管,高響應度雪崩倍增探測器件的發(fā)展。利用態(tài)密度工程改善光發(fā)射性能,從三維、二維到一維乃至零維的態(tài)密度工程,實現(xiàn)載流子的多種光電性質(zhì)調(diào)控,包括偏振、載流子輸運,調(diào)制帶寬,發(fā)散角,自旋和Droop效應等?;谠ぐl(fā)工程的新型發(fā)光器件,基于量子限制結(jié)構(gòu)和金屬等高激元的元激發(fā)調(diào)控形成了多粒子耦合的準粒子,提升了寬帶隙材料的自發(fā)輻射率,實現(xiàn)了低閾值激光和偏振調(diào)控。
 
 
三安光電股份有限公司林科闖總經(jīng)理分享大會報告
 
氮化鎵基激光器將半導體激光器的波長拓展到藍、綠光波段,帶動大色域激光顯示、高亮度激光照明等領域的技術(shù)革新,并正興起為激光加工銅、金等金屬的最好光源。在投影顯示,激光加工,激光照明,存儲等領域具有重要的應用前景與廣泛的市場需求。三安光電股份有限公司林科闖總經(jīng)理在報告中,結(jié)合相關(guān)研究分享了大功率GaN藍綠激光器芯片設計、生長和制作以及三安光電最新的研發(fā)成果以及發(fā)展路線圖,涉及大功率GaN藍光激光器特征,GaN綠激光器界面改進等。
 
中國科學院半導體研究所李晉閩研究員分享大會報告
 
隨著紫外光固化技術(shù)日臻成熟,其在固化領域的應用份額在逐年上升。新冠疫情加速了紫外殺菌消毒市場培育,對深紫外LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展起到了極大的推動作用,吸引更多的企業(yè)投資深紫外LED產(chǎn)業(yè)。在生物醫(yī)療、防偽鑒定、凈化領域、計算機數(shù)據(jù)存儲和軍事領域,紫外LED技術(shù)不斷取得突破,新的應用替代也在不斷發(fā)生。尚處于技術(shù)發(fā)展期的紫外LED技術(shù)已呈現(xiàn)出廣闊的市場應用前景,有望繼通用照明之后,成為半導體光電領域又一具有巨大市場前景的新興產(chǎn)業(yè)。李晉閩研究員在報告中全面分享了紫外LED技術(shù)現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢,紫外LED應用示范與產(chǎn)業(yè)機遇。他表示,氮化物深紫外LED作為下一代紫外光源,具有廣闊的應用前景,紫外LED應用市場正面臨快速增長的良好機遇,及早部署,把握先機,方可有望成為未來的市場領導者。深紫外LED產(chǎn)業(yè)面臨著從裝備、外延、芯片到封裝中的一系列技術(shù)挑戰(zhàn),其中尤其以裝備和外延最為核心,開發(fā)出高性能的深紫外MOCVD裝備是突破 深紫外LED產(chǎn)業(yè)瓶頸的關(guān)鍵。
 
 
廈門大學講座教授邱宇峰分享大會報告
 
大功率電力電子器件是推動電網(wǎng)向柔性半導體化方向發(fā)展的電力電子裝備的核心,碳化硅電力電子器件已經(jīng)成為國內(nèi)外研究和產(chǎn)業(yè)化熱點,電力電子裝備技術(shù)隨功率半導體器件的發(fā)展而逐代演進。功率半導體器件的發(fā)展是推動力電網(wǎng)電力電子裝備演進關(guān)鍵因素。碳化硅器件具有高結(jié)溫、高電壓、高頻的特點,非常適合電網(wǎng)應用,其廣泛應用將推動電網(wǎng)的電力電子化進程。高壓大功率碳化硅器件研制仍需突破電流密度、大尺寸襯底外延、低寄生參數(shù)封裝,成品率等問題。邱宇峰教授在報告中分享了能源轉(zhuǎn)型背景下電網(wǎng)形態(tài)的演進,硅基器件制約電網(wǎng)柔性半導體化進程,高壓SiC  IGBT面臨的襯底質(zhì)量、外延生長、芯片設計、芯片工藝以及芯片解決方案、器件解決方案,封裝解決方案等。他表示,新能源為主題的新型電力系統(tǒng),要求電力電子裝備在電力系統(tǒng)各個層面起到?jīng)Q定性支撐作用。硅器件性能參數(shù)已經(jīng)接近極限,碳化硅器件的應用將大大推動電網(wǎng)柔性化、電力電子化進程。
 
 
KK創(chuàng)新實驗室Yogi Ota教授遠程云視頻報告
 
因為疫情阻隔,KK創(chuàng)新實驗室Yogi Ota教授通過遠程云視頻報告,分享了寬帶隙半導體、研發(fā)歷史和實踐等內(nèi)容,從不同角度分享了最新進展,包括射頻功率的材料比較、電力應用熱模擬等。
 
在9日下午召開的閉幕大會上,來自香港科技大學劉紀美教授、中國科學院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所徐科研究員、英國謝菲爾德大學王濤教授、北京大學理學部副主任沈波教授、臺灣交通大學郭浩中教授、山東大學徐現(xiàn)剛教授等嘉賓帶來了精彩報告。
 
 
香港科技大學劉紀美教授云視頻報告
 
香港科技大學劉紀美教授遠程視頻的方式帶來了題為“高性能GaN垂直溝槽柵極MOSFET”的主題報告,具體分享了GaN功率晶體管:橫向和縱向設計;GaN垂直溝槽MOSFET的優(yōu)勢與挑戰(zhàn);不同清洗處理器的設備結(jié)果;具有厚底電介質(zhì)的器件設計;厚底電介質(zhì)工藝等內(nèi)容。
 
 
中國科學院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所徐科研究員
 
中國科學院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所徐科研究員詳細分享了氮化鎵單晶材料的HVPE法與液相法生長研究的最新成果。涉及GaN在尺寸Si襯底上的MOCVD外延生長、GaN在藍寶石襯底上的MBE外延生長,HVPE方法和生長裝備,HVPE生長GaN單晶襯底的現(xiàn)狀,從界面到表面的應力調(diào)控和應力分布,HVPE方法生長GaN的厚度和位錯密度的關(guān)系,生長界面調(diào)控和應力調(diào)控,降低位錯密度,氨熱法生長GaN的原理和裝備等。報告同時指出,GaN單晶材料生長的關(guān)鍵難題是面臨各類器件的特殊需求的挑戰(zhàn),比如更大的晶面尺寸,更高的晶體質(zhì)量,更優(yōu)異的光學質(zhì)量,更優(yōu)異的電學性能,合適的鏡面取向,更低的成本等。
 
 
英國謝菲爾德大學王濤教授云視頻報告
 
英國謝菲爾德大學王濤教授通過遠程云視頻的方式,分享了關(guān)于用于微型顯示器和VLC的μLED和HEMT的,一種實現(xiàn)單片片上集成的直接外延方法。涉及到μLED顯示屏的當前狀態(tài)、內(nèi)量子效率、外延生長,在單芯片上實現(xiàn)單片集成μLED/HEMT微顯示的外延等。報告指出,研究開發(fā)出了一種新的選擇性外延方法,在不涉及任何干蝕刻的情況下實現(xiàn)微型 LED;新的選擇性外延方法,以集成具有最高EQE和最窄光譜線寬的μLED/晶格匹配DBR等。
 
北京大學理學部副主任沈波教授分享大會報告
 
AIN是具有戰(zhàn)略意義的超寬禁帶半導體,禁帶寬度6-2eV,高擊穿場強11.7MV/cm,高熱導率3.41W/cm.K,具有二階和三階光學非線性。與GaN晶格失配率2.4%,熱膨脹系數(shù)非常接近,在深紫外光電器件,高功率密度電子器件、濾波器、非線性光學器件等領域,具有不可替代的重要應用。北京大學沈波教授做了題為“高質(zhì)量AIN單晶襯底和外延薄膜的制備”的主題報告,具體分享了AIN單晶襯底的PVT生長,藍寶石上AIN薄膜的MOCVD外延生長,Si襯底上AIN薄膜的MOCVD外延生長等最新研究進展。
 
報告指出,AIN單晶襯底和高質(zhì)量AIN外延薄膜是寬禁帶半導體器件發(fā)展的關(guān)鍵基礎材料,是國家的戰(zhàn)略需求,也是國際上尚未攻破的難題之一。研究創(chuàng)新發(fā)展了“蔓延式PVT生長”方法,研制了PVT專用裝備,初步解決了一系列技術(shù)難題,成功研制出2英寸AIN晶體和襯底晶片。創(chuàng)新發(fā)展了“小合攏區(qū)NPSS側(cè)向外延”方法,藍寶石襯底上AIN外延層XRD搖擺曲線半高寬132(002)/140(102)arcsec;AIGaN基MQW發(fā)光波長276nm時IQE達83.1%,p-AIGaN基MQW發(fā)光波長276nm時IQE達83.1%。研究也創(chuàng)新發(fā)展了“納米圖形化符合AIN/Si襯底”技術(shù),Si襯底上AIN外延薄膜XRD搖擺曲線半高寬409(002)/677(102)arcsec 。
 
 
臺灣交通大學郭浩中教授云視頻報告
 
臺灣交通大學郭浩中教授通過云視頻報告,介紹了用于全彩顯示和VLC的新型 microLED的最新技術(shù)成果以及相關(guān)應用的研究進展,包括下一代顯示技術(shù),MicroLED的全彩挑戰(zhàn)、嵌入量子點的高均勻性和高效率納米多孔GaN用于顏色轉(zhuǎn)換MicroLED顯示器,具有VLC應用潛力的高穩(wěn)定性全彩顯示設備,高速綠色半極性等。
 
 
山東大學副教授彭燕云視頻報告
 
“芯片之爭就是材料之爭,沒有材料核心技術(shù),就相當于在別人的地基上蓋房子,再大也不堪一擊”,一代材料,一代芯片,半導體材料具有核心地位,當前從研發(fā)到規(guī)模量產(chǎn),進入產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展期,“十四五”開局之年,國家啟動了多項第三代半導體項目,涉及新型顯示和戰(zhàn)略電子材料、高性能制造技術(shù)與重大裝備等,政策支持力度更大,資產(chǎn)市場活躍。也面臨著應用市場需求增長等機遇。
 
山東大學徐現(xiàn)剛教授(彭燕老師代講)通過云視頻方式帶來了題為“碳化硅單晶襯底的研究進展”的主題報告,分享了SiC材料研究進展及產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀等內(nèi)容,包括SiC功率器件,SiC基射頻器件,SiC生長系統(tǒng),SiC中位錯缺陷等。其中,報告指出,國內(nèi)SiC商業(yè)化襯底以4英寸為主,逐步向6英寸過渡。微管密度小于1個/cm2 ,實現(xiàn)95%的襯底可用面積,存在單晶性能一致性差,成品率低下,成本高等問題,國產(chǎn)高性能襯底自給率仍然較低,占全球的市場份額不到5%。
 
大會現(xiàn)場
 
據(jù)介紹,本屆會議為期兩天,包含開閉幕兩場大會,同期設置了“材料生長與表征”、“光電子器件及應用”、“電力電子器件及應用”、“新型寬禁帶半導體材料及應用”和青年論壇五場同期分會,并有POSTER交流和企業(yè)展覽展示。大會共收錄論文摘要355篇,其中大會報告12個,邀請報告58個,口頭報告71個,海報展示186個。根據(jù)注冊統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示參會代表超過600人,因疫情原因?qū)嶋H參會代表超過500人,贊助單位31家,29家企業(yè)參與展示,參與單位超過150家,線上開閉幕式報告直播觀看人次超過13000+。
 
在疫情常態(tài)化防控背景下,本次全國寬禁帶半導體學術(shù)會議的成功召開,無疑是對我國寬禁帶半導學術(shù)研究與第三代半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有里程碑意義。在為期兩天的會期時間里,密集的高水平報告,前沿研究內(nèi)容分享交相輝映,讓與會的嘉賓和青年科研代表享受到寬禁帶技術(shù)“科研盛宴”。
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