期間， “IFWS  2021：碳化硅功率器件與封裝應用論壇“成功召開。會議由蕪湖啟迪半導體有限公司、中國電子科技集團公司第四十八研究所、北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司、德國愛思強股份有限公司協(xié)辦支持。

▲北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司LED及化合物半導體行業(yè)發(fā)展部總經理王顯剛
 

會上，北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司LED及化合物半導體行業(yè)發(fā)展部總經理王顯剛分享了“化合物半導體工藝設備解決方案”主題報告。

北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司經過二十年的發(fā)展，北方華創(chuàng)已成為國內領先的半導體裝備制造與服務商。在化合物半導體領域，NAURA定制開發(fā)了化合物半導體刻蝕機、PECVD系統(tǒng)、槽式清洗系統(tǒng)和臥式擴散/氧化系統(tǒng)，為客戶提供全面的設備及工藝解決方案。北方華創(chuàng)專注器件工藝研發(fā)，包括SiN/GaN 慢速低損傷刻蝕設備，SiC通孔高速刻蝕設備，高致密、低應力的PECVD薄膜沉積設備等均已在國內多條主流生產線上批量應用。

在SiC量產線上，應用于SiC功率器件的Etch、PVD、清洗設備、PEVCD、臥式爐等關鍵工藝設備在國內主流產線上也已大規(guī)模應用。國內首臺量產型SiC高溫氧化退火/高溫激活立式爐在客戶端實現(xiàn)量產應用；公司的SiC長晶爐已在客戶端批量投入使用。