近日,第七屆國際第三代半導(dǎo)體論壇暨第十八屆中國國際半導(dǎo)體照明論壇(IFWS & SSLCHINA 2021)在深圳會展中心舉行。本屆論壇由第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)、國家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟(CSA)聯(lián)合主辦,北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進中心有限公司與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)共同承辦。
期間,“超寬禁帶半導(dǎo)體材料“論壇上,鄭州大學(xué)電子材料與系統(tǒng)國際聯(lián)合研究中心主任、教授劉玉懷做了題為“六方氮化硼薄膜在不同襯底上的生長研究綜述”的主題報告。六方相氮化硼薄膜(hBN)可望應(yīng)用于深紫外發(fā)光器件、中子探測器件以及電子器件的襯底層、介質(zhì)層或絕緣層,近年來hBN研究成果吸引了大量關(guān)注。報告展示hBN在不同襯底上的生長比較,包括藍寶石襯底、氮化鋁/藍寶石模板、氮化鋁襯底以及金剛石襯底等。分享了在藍寶石、AlN/藍寶石模板和金剛石襯底上生長的BN,觀察到在不同基板上生長的所有BN薄膜的皺紋圖案,可以看到生長的BN膜具有六重對稱性,表明形成了六邊形BN,B(~190 eV)和N(~401 eV)的K邊上的π*和σ*能量損失等最新研究成果。
劉玉懷,主要研究方向為氮化物半導(dǎo)體材料與器件,主持國家重點研發(fā)計劃政府間國際科技創(chuàng)新合作重點專項(基于氮化物半導(dǎo)體的深紫外激光器的研究)、國家自然科學(xué)基金面上項目、河南省科技攻關(guān)項目等13項。發(fā)表論文與會議報告215篇,國際會議邀請報告12次。日本專利公開1項、授權(quán)中國發(fā)明專利1項、實用新型項專利1項、軟件著作權(quán)5項。紫外LED技術(shù)轉(zhuǎn)移1項。目前主持第三批“智匯鄭州1125創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)領(lǐng)軍團隊”三色LED集成芯片項目,參與寧波市2025重大科技專項“深紫外LED產(chǎn)業(yè)化”。
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