期間，由北京一徑科技有限公司、廣東芯聚能半導(dǎo)體有限公司、廣東晶科電子股份有限公司、上海瞻芯電子科技有限公司協(xié)辦支持的“車(chē)用半導(dǎo)體創(chuàng)新合作峰會(huì)“如期舉行。

 

傳感器是一種檢測(cè)裝置，能感受到被測(cè)量的信息，并能將感受到的信息轉(zhuǎn)換為電信號(hào)或其他所需形式的信息輸出。MEMS傳感器是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來(lái)的新型傳感器，具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化的特點(diǎn)。其使傳感器應(yīng)用領(lǐng)域發(fā)生了顛覆性變化。進(jìn)入21世紀(jì)以來(lái)，MEMS技術(shù)以超高速創(chuàng)新發(fā)展。比如慣性MEMS，光MEMS，生物醫(yī)療MEMS，射頻MEMS、壓力傳感器、氣體傳感器、麥克風(fēng)等。

會(huì)上，華東光電集成器件研究所總工程師展明浩做了題為“MEMS傳感器發(fā)展現(xiàn)狀及在自動(dòng)駕駛中應(yīng)用”的線(xiàn)上主題報(bào)告，結(jié)合MEMS傳感器的發(fā)展，分享了MEMS傳感器在自動(dòng)駕駛中的應(yīng)用以及華東光電集成器件研究所MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)情況。

隨著智能汽車(chē)的發(fā)展，MEMS傳感器在自動(dòng)駕駛中的應(yīng)用也在發(fā)展。2022年，超過(guò)50%的新車(chē)將實(shí)現(xiàn)車(chē)聯(lián)網(wǎng)/智能網(wǎng)聯(lián)，2022年中國(guó)智能網(wǎng)聯(lián)市場(chǎng)預(yù)計(jì)將達(dá)到1350億元。未來(lái)自動(dòng)駕駛將融合自主式和網(wǎng)聯(lián)化兩種方式，兩種技術(shù)互為補(bǔ)充實(shí)現(xiàn)自動(dòng)駕駛。

感知是智能自動(dòng)駕駛的前提，外界環(huán)境的高靈敏度感知技術(shù)是智能網(wǎng)聯(lián)汽車(chē)基礎(chǔ)關(guān)鍵技術(shù)之一，它是通過(guò)安裝在智能網(wǎng)聯(lián)汽車(chē)及其周邊的傳感器及網(wǎng)絡(luò)，對(duì)道路、車(chē)輛、行人、交通標(biāo)志、交通信號(hào)燈等復(fù)雜環(huán)境進(jìn)行的實(shí)時(shí)、高效探測(cè)和識(shí)別技術(shù)，關(guān)系到自動(dòng)駕駛的自主決策和協(xié)同控制。

 

自動(dòng)駕駛中的MEMS應(yīng)用廣泛，如今的自動(dòng)駕駛汽車(chē)全身布滿(mǎn)了傳感器：傳感器可以映射出周?chē)h(huán)境的特性、探測(cè)道路邊緣和車(chē)道標(biāo)線(xiàn)、識(shí)別標(biāo)志和紅綠燈，結(jié)合攝像頭、雷達(dá)和激光來(lái)識(shí)別行人；陀螺儀、加速計(jì)和高度計(jì)比單獨(dú)使用全球定位系統(tǒng)（GPS）衛(wèi)星提供了更精確的定位?；贛EMS傳感器體積小、集成度高等優(yōu)勢(shì)，在自動(dòng)駕駛領(lǐng)域應(yīng)用越來(lái)越廣泛。

報(bào)告指出，微機(jī)電系統(tǒng)涉及物理學(xué)、半導(dǎo)體、光學(xué)、電子工程、化學(xué)、材料工程、機(jī)械工程、醫(yī)學(xué)、信息工程及生物工程等多學(xué)科。隨著新技術(shù)、新工藝的出現(xiàn)，以MEMS技術(shù)為代表的半導(dǎo)體行業(yè)，將加速進(jìn)入快車(chē)道發(fā)展階段。MEMS技術(shù)將使傳感器應(yīng)用領(lǐng)域發(fā)生顛覆性變化和更多場(chǎng)景的應(yīng)用。微機(jī)械技術(shù)在自動(dòng)駕駛等未來(lái)領(lǐng)域發(fā)揮著越來(lái)越重要的作用，促進(jìn)自動(dòng)駕駛早日走向人類(lèi)生活。

在5G、自動(dòng)駕駛、新型智慧城市等國(guó)家發(fā)展戰(zhàn)略促進(jìn)下，將進(jìn)一步促進(jìn)MEMS上下游產(chǎn)業(yè)鏈的繁榮與發(fā)展。國(guó)內(nèi)MEMS廠家正逐步走向世界舞臺(tái)，在性能、市場(chǎng)空間等方面優(yōu)勢(shì)愈發(fā)明顯。

 

目前，華東光電集成器件研究所具有一條6英寸MEMS體硅SOI工藝平臺(tái)，形成了體硅SOI工藝技術(shù)體系包含了硅硅直接鍵合、高深寬比SOI結(jié)構(gòu)刻蝕釋放、高深寬比TSV刻蝕與填充、晶圓級(jí)真空封裝、熱應(yīng)力隔離結(jié)構(gòu)等關(guān)鍵工藝技術(shù)。體硅SOI工藝可實(shí)現(xiàn)高精度微機(jī)械慣性器件工藝加工，滿(mǎn)足高精度、高深寬比、低應(yīng)力的工藝加工要求。形成了紅外溫度傳感器、氣體傳感器、流量傳感器、壓力傳感器，陀螺和加速度傳感器系列化產(chǎn)品。

 

展明浩，現(xiàn)任華東光電集成器件研究所總工程師，研究員。國(guó)家地方MEMS工程實(shí)驗(yàn)室主任，安徽省MEMS工程實(shí)驗(yàn)室主任、省MEMS工程中心副主任，合肥工業(yè)大學(xué)研究生導(dǎo)師，“安徽省“115”產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)-MEMS產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)帶頭人。現(xiàn)從事半導(dǎo)體集成電路、微機(jī)械電子（MEMS）慣性傳感器、圖像傳感器、微波固態(tài)功率器件等研究和產(chǎn)業(yè)化。

 

 

（內(nèi)容根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)資料整理，如有出入敬請(qǐng)諒解）