“半導體產(chǎn)業(yè)關(guān)乎國家競爭力和經(jīng)濟安全。半導體裝備作為行業(yè)基石，必須優(yōu)先發(fā)展。”沈陽市人大代表、沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司（芯源微，688037）董事長宗潤福十分關(guān)注國內(nèi)半導體裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，在即將召開的沈陽市十七屆人大一次會議上，他將提出關(guān)于做大做強沈陽半導體裝備產(chǎn)業(yè)集群的建議。
據(jù)了解，芯源微于2019年12月登陸上交所科創(chuàng)板市場。作為半導體涂顯行業(yè)龍頭，芯源微是中科院沈陽自動化研究所于2002年發(fā)起創(chuàng)立的高新技術(shù)企業(yè)，公司主營產(chǎn)品涂膠顯影機，是芯片生產(chǎn)線上的關(guān)鍵工藝設(shè)備，與光刻機聯(lián)機作業(yè)，共同保證光刻的線寬和良率。
宗潤福表示，半導體裝備產(chǎn)業(yè)既引領(lǐng)制造技術(shù)的發(fā)展，又體現(xiàn)一個地區(qū)在國家創(chuàng)新體系中的地位。沈陽目前已經(jīng)形成了以優(yōu)秀企業(yè)為依托的半導體裝備產(chǎn)業(yè)集群，產(chǎn)業(yè)集群初具規(guī)模并發(fā)展迅速。“沈陽的半導體裝備產(chǎn)業(yè)集群已經(jīng)開始發(fā)揮凝聚創(chuàng)新人才、提升區(qū)域創(chuàng)新能力、以‘新字號’增量帶動‘老字號’存量發(fā)展的作用。”宗潤福說。
宗潤福建議，沈陽應(yīng)推動創(chuàng)新資源向優(yōu)勢企業(yè)集聚，突出企業(yè)的創(chuàng)新主體地位，加強產(chǎn)學研合作，發(fā)揮上下游配套優(yōu)勢，引進和培育更多優(yōu)秀企業(yè)，做大做強沈陽半導體裝備產(chǎn)業(yè)集群，提升區(qū)域創(chuàng)新能力及沈陽在國家創(chuàng)新體系中的地位。同時，要著力優(yōu)化法治化營商環(huán)境，加大知識產(chǎn)權(quán)保護力度，促進產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展。
據(jù)了解，芯源微于2019年12月登陸上交所科創(chuàng)板市場。作為半導體涂顯行業(yè)龍頭，芯源微是中科院沈陽自動化研究所于2002年發(fā)起創(chuàng)立的高新技術(shù)企業(yè)，公司主營產(chǎn)品涂膠顯影機，是芯片生產(chǎn)線上的關(guān)鍵工藝設(shè)備，與光刻機聯(lián)機作業(yè)，共同保證光刻的線寬和良率。
