日前，由上海果納半導(dǎo)體設(shè)備有限公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)自主設(shè)計(jì)生產(chǎn)的國(guó)產(chǎn)首臺(tái)8LP雙天車系統(tǒng)的sorter（晶圓傳輸設(shè)備），取得終端客戶認(rèn)證。晶圓傳輸設(shè)備在實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化的道路上再次獲得技術(shù)突破；作為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體傳輸設(shè)備制造的新銳企業(yè)，果納由剛剛被評(píng)為“2022最值得關(guān)注的女性創(chuàng)業(yè)者”之一的創(chuàng)始人葉瑩女士的布局發(fā)展下，歷經(jīng)短短1年多的快速發(fā)展中，陸續(xù)獲得國(guó)內(nèi)多家知名半導(dǎo)體設(shè)備及制造企業(yè)的認(rèn)可，團(tuán)隊(duì)以優(yōu)質(zhì)快速的服務(wù)響應(yīng)，滿足客戶定制化的產(chǎn)品研發(fā)理念；不斷攻克技術(shù)難題，對(duì)標(biāo)國(guó)際先進(jìn)水平，打破行業(yè)技術(shù)壟斷，實(shí)現(xiàn)彎道超越。這是國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)良性發(fā)展的關(guān)鍵，同時(shí)代表著芯片行業(yè)細(xì)分領(lǐng)域國(guó)產(chǎn)自動(dòng)化設(shè)備取得長(zhǎng)足進(jìn)展。

 

該項(xiàng)目負(fù)責(zé)人介紹——由果納自主研發(fā)的GN208型8 Loadport SORTER 在西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司認(rèn)證通過，今天正式生產(chǎn)。該機(jī)臺(tái)設(shè)備是用于12寸大硅片廠出貨前的分選工序，其配備了8套晶圓承載系統(tǒng)，分設(shè)備兩側(cè)對(duì)稱安裝，可實(shí)現(xiàn)兩側(cè)同時(shí)對(duì)接天車。GN208設(shè)備結(jié)構(gòu)布局緊湊，占地面積小，分選效率高，有效提高了客戶廠房廠務(wù)的利用率。

 

同時(shí)，果納GN208 SORTER機(jī)臺(tái)在設(shè)計(jì)上采用了恒壓微環(huán)境的設(shè)計(jì)概念，使設(shè)備內(nèi)部的晶圓傳送區(qū)域始終保持較高潔凈度等級(jí)。通過設(shè)計(jì)上的保障，嚴(yán)格的組裝工藝，以及現(xiàn)場(chǎng)專業(yè)的服務(wù)團(tuán)隊(duì)，該設(shè)備僅用了1個(gè)月的時(shí)間通過了50nm和28nm的particle、edge metal連續(xù)測(cè)試。

 

另外，果納GN208 SORTER 機(jī)臺(tái)配置了更友好的人機(jī)界面系統(tǒng)，更便于操作和監(jiān)控晶圓的分選路徑，輕松實(shí)現(xiàn)單倉(cāng)排序，跨倉(cāng)調(diào)配。同時(shí)，設(shè)備可識(shí)別兼容多種晶圓料盒，并搭載高精度晶圓ID讀碼器，使分選工作更高效可靠。設(shè)備采用了完全國(guó)內(nèi)自主開發(fā)的SECS/GEM半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)傳輸協(xié)議，現(xiàn)已順利通過客戶的EAP測(cè)試。