此外，該設(shè)備采用的模塊化設(shè)計(jì)，可支持不同脈寬（納秒、皮秒、飛秒）激光器。自主研發(fā)的光學(xué)系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)光斑寬度及長(zhǎng)度連續(xù)可調(diào)，配合超高精度運(yùn)動(dòng)控制平臺(tái)等技術(shù)，解決了激光隱切設(shè)備對(duì)表面材質(zhì)、厚度、晶向、電阻率的限制，實(shí)現(xiàn)了工藝的全兼容，對(duì)有效控制產(chǎn)品破損率、提高芯片良率有著極大幫助。