第三代半導(dǎo)體是通過半導(dǎo)體新材料技術(shù)突破和性能提升實現(xiàn)顛覆式器件和系統(tǒng)的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè),具有戰(zhàn)略性和市場性雙重特征,當前材料正在全面突破,應(yīng)用驅(qū)動市場將全面開啟,是推動移動通信、新能源汽車、高速列車、智能電網(wǎng)、新型顯示、通信傳感等產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展和轉(zhuǎn)型升級的新引擎,是實現(xiàn)“雙碳”目標、“東數(shù)西算”戰(zhàn)略和保障國家產(chǎn)業(yè)安全的重要支撐。
第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟理事長吳玲在接受中國經(jīng)濟時報記者專訪時認為,第三代半導(dǎo)體有緊迫的國家戰(zhàn)略需求和明確應(yīng)用目標導(dǎo)向,任務(wù)覆蓋鏈條長、應(yīng)用范圍廣、跨領(lǐng)域跨學(xué)科,需要立足全國一盤棋、全鏈條設(shè)計、一體化實施,把項目、人才、平臺、基地和產(chǎn)業(yè)金融等資源有效整合。當前正值新的地緣政治下全球半導(dǎo)體競爭力重構(gòu)的歷史關(guān)鍵期,需要從國家層面制定實施精準、持續(xù)、穩(wěn)定的第三代半導(dǎo)體發(fā)展戰(zhàn)略和支持政策,才能在核心技術(shù)突破的同時建立產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新體系,形成若干龍頭品牌企業(yè),提升我國在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的話語權(quán)。
應(yīng)用需求驅(qū)動技術(shù)創(chuàng)新,抓機遇、迎變革、筑長板
中國經(jīng)濟時報:半導(dǎo)體領(lǐng)域的國產(chǎn)替代正在加快,第三代半導(dǎo)體被認為是最有希望重塑全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競爭格局的重要突破口。目前,我國第三代半導(dǎo)體的技術(shù)發(fā)展和產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用情況如何?
吳玲:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是新的地緣政治下全球競爭焦點,是國家高技術(shù)實力、經(jīng)濟安全、國防能力、國際競爭力的主要標志,經(jīng)過60多年的發(fā)展,全球半導(dǎo)體材料出現(xiàn)了三次突破性的發(fā)展進程。第一代半導(dǎo)體興起于上世紀50年代,以硅(Si)、鍺(Ge)等元素半導(dǎo)體為主要代表,其典型應(yīng)用是超大規(guī)模集成電路芯片,是人類進入信息社會的基石,迄今依然在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中處于主導(dǎo)地位。第二代半導(dǎo)體興起于上世紀70年代,以砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)為代表的化合物半導(dǎo)體,彌補了Si材料在發(fā)光和高速輸運性質(zhì)上的局限,應(yīng)用于長波長光電子(紅外)和微波射頻電子技術(shù),是人類進入光通信和移動通訊時代的基礎(chǔ)。
第三代半導(dǎo)體興起于上世紀90年代初,以氮化鎵(GaN)、碳化硅(SiC)等帶隙寬度明顯大于硅(Si)和砷化鎵(GaAs)的寬禁帶半導(dǎo)體材料為代表,具備擊穿電場高、熱導(dǎo)率大、電子飽和漂移速率高、抗輻射能力強等優(yōu)越性能,功率芯片將大幅提升特高壓柔性電網(wǎng)、高速列車、新能源汽車、工業(yè)電機、智能制造等新興產(chǎn)業(yè)的能源利用效率和智能化水平,射頻芯片支撐5G/6G通信重要的核心數(shù)據(jù)傳輸功能,滿足綠色發(fā)展、智能制造等國家重大戰(zhàn)略需求,對新興產(chǎn)業(yè)的帶動面廣、拉動性強。
從國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢來看,隨著硅半導(dǎo)體材料主導(dǎo)的摩爾定律逐漸走向其物理極限,同時硅也滿足不了微波射頻、高效功率電子和光電子等新需求快速發(fā)展的需要,以化合物半導(dǎo)體材料,特別是第三代半導(dǎo)體材料為代表的半導(dǎo)體新材料快速崛起,未來10年將對國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)格局的重塑產(chǎn)生至關(guān)重要的影響。
當前國際第三代半導(dǎo)體材料、器件實現(xiàn)了從研發(fā)到規(guī)模性量產(chǎn)的成功跨越,已進入產(chǎn)業(yè)化快速發(fā)展階段,在新能源汽車、高速列車、5G通信、光伏并網(wǎng)、消費類電子等多個重點應(yīng)用領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了突破,未來5年將是第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵期,全球資本加速進入第三代半導(dǎo)體材料、器件領(lǐng)域,產(chǎn)能大幅度提升,企業(yè)并購頻發(fā),正處于產(chǎn)業(yè)爆發(fā)前的“搶跑”階段。美國、日本、歐洲等發(fā)達國家在已有半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢的基礎(chǔ)上,通過設(shè)立國家級創(chuàng)新中心、產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟等形式,引領(lǐng)、加速并搶占全球第三代半導(dǎo)體市場。我國第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域在國家科技計劃的支持下,初步形成了從材料、器件到應(yīng)用的全產(chǎn)業(yè)鏈,但整體產(chǎn)業(yè)競爭力不強,可持續(xù)發(fā)展的能力較弱。
半導(dǎo)體照明自主可控,光電子與微電子深度融合,跨界創(chuàng)新應(yīng)用有望引領(lǐng)發(fā)展。國內(nèi)LED產(chǎn)業(yè)經(jīng)過近20年的發(fā)展,已成為全球最大的生產(chǎn)、消費和出口國,2021年我國半導(dǎo)體照明產(chǎn)值7773億元,芯片國產(chǎn)化率接近80%,Si基LED芯片技術(shù)處于國際領(lǐng)先。隨著光電子技術(shù)的發(fā)展,不斷催生Micro-LED、深紫外LED等新興產(chǎn)業(yè),面臨著與微電子技術(shù)以及光生物、光健康、光治療等跨界技術(shù)的融合,涉及到跨學(xué)科、跨領(lǐng)域的技術(shù)開發(fā)及協(xié)同創(chuàng)新方面的挑戰(zhàn)。深紫外方面研發(fā)水平基本與國際同步,但在點缺陷控制、光模式調(diào)控、高場擊穿調(diào)控等方面與美日水平相差3-5年。深紫外LED已在新冠肺炎疫情防治的公共安全領(lǐng)域開展示范應(yīng)用。目前小功率芯片已規(guī)?;慨a(chǎn),但外量子效率與美國、日本有較大差距,高端芯片產(chǎn)品主要依賴進口。在Micro-LED方面,我國GaN基紅光Micro-LED研究水平國際領(lǐng)先,藍、綠光Micro-LED芯片效率基本與國際同步,在巨量轉(zhuǎn)移等方面與國際水平有3-5年的差距。
微波射頻開始國產(chǎn)替代,部分技術(shù)達到國際先進水平?;诘谌雽?dǎo)體材料的微波射頻芯片是通信裝備的核心基礎(chǔ),在5G通信移動基站實現(xiàn)6GHz以下產(chǎn)品小批量供應(yīng),解決了中興、華為的燃眉之急,實現(xiàn)近10萬只GaN功放管銷售,2020年國內(nèi)宏站用氮化鎵射頻器件國產(chǎn)化率超過20%。我國目前在材料應(yīng)力控制、熱管理、線性度、超高頻器件、可靠性等方面與美國等還有3-5年的差距,材料和器件制備關(guān)鍵裝備部分依賴國外。預(yù)計2023年進入毫米波頻段商用,集成功放、低噪放、開關(guān)功能,國內(nèi)目前還不具備產(chǎn)業(yè)化能力。6G已啟動預(yù)研,太赫茲頻段進入技術(shù)論證和研究階段,預(yù)計2030年實現(xiàn)商用。
功率電子契合國家“雙碳”戰(zhàn)略,需求拉動產(chǎn)業(yè)鏈能力提升,但車規(guī)級、電網(wǎng)級高端產(chǎn)品與國際先進水平仍有較大差距。以新能源大規(guī)模開發(fā)利用和新型用電設(shè)施廣泛發(fā)展為標志的新一輪能源革命蓬勃興起。當前能源技術(shù)革命已經(jīng)從電力高端裝備的發(fā)展逐步向由材料革命的發(fā)展來帶動和引領(lǐng)。在建設(shè)新能源為主體的新型電力系統(tǒng)中,碳化硅是目前已知的可達到萬伏千安等級(特高壓柔性直流輸電必需)的唯一的功率半導(dǎo)體材料,可實現(xiàn)電力電子裝置的小型化和模塊化(體積減小40%,能量損耗減少50%),大幅提高能源互聯(lián)網(wǎng)的可靠性、可控性,推動傳統(tǒng)電網(wǎng)向半導(dǎo)體電網(wǎng)發(fā)展。5G基站、數(shù)據(jù)中心等新型用電設(shè)施的大規(guī)模建設(shè)運行,能耗問題已成為主要瓶頸(電費占運行成本一半),發(fā)展基于第三代半導(dǎo)體材料的高效電能轉(zhuǎn)換技術(shù)刻不容緩,可使5G基站和數(shù)據(jù)中心電源變換損耗減少30%。
2021年,我國第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)電力電子(SiC、GaN)產(chǎn)值規(guī)模達58億元,同比增長29.6%,新能源汽車(含充電樁)是未來5年最大驅(qū)力,消費電子、PV光伏市場也保持高速增長。在碳化硅材料方面,國際上6英寸是主流技術(shù),正在發(fā)展8英寸,美國Cree、意法半導(dǎo)體等已發(fā)布8英寸SiC襯底產(chǎn)品,預(yù)計未來3年將啟動規(guī)模應(yīng)用。目前我國已實現(xiàn)4英寸SiC襯底材料產(chǎn)業(yè)化,6英寸小批量試用。實現(xiàn)600-1700VSiC二極管量產(chǎn),開發(fā)出1200-3300VSiCMOSFET小批量產(chǎn)品,已經(jīng)在充電樁、光伏、車載充電器等中小功率領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)應(yīng)用。比亞迪、蔚來、小鵬等車企均推出車型采用全SiC模塊的電機驅(qū)動控制器,其中比亞迪漢已銷售10萬輛,預(yù)計到2023年,SiC將全面替代Si的IGBT。與國際上相比,我國在技術(shù)成熟度、產(chǎn)業(yè)化能力、產(chǎn)業(yè)鏈配套方面都存在較大差距,產(chǎn)業(yè)整體的技術(shù)水平落后世界先進水平5年左右。比如新能源汽車電驅(qū)動核心功率芯片被國外的大公司所壟斷(如英飛凌、Cree等),美國Cree等公司占有全球SiC襯底材料產(chǎn)量的70%以上。另外目前國內(nèi)產(chǎn)線產(chǎn)業(yè)化水平和能力仍然滿足不了產(chǎn)業(yè)應(yīng)用需求,成為當前產(chǎn)業(yè)鏈主要短板。
摩爾定律主導(dǎo)的技術(shù)以硅材料為核心,以馮·諾依曼架構(gòu)為基礎(chǔ),以幾何尺寸縮小和器件效能提升為標志,已逐漸趨近物理極限。以第三代半導(dǎo)體為代表的化合物半導(dǎo)體側(cè)重于功能的多樣化,由應(yīng)用需求驅(qū)動,為未來低碳、智能化社會發(fā)展提供了更多技術(shù)解決方案。同時物理學(xué)、材料科學(xué)、量子科學(xué)及微納加工技術(shù)不斷發(fā)展,為半導(dǎo)體信息器件提供了新的發(fā)展維度,衍生出基于新原理、新材料的顛覆性器件。超寬禁帶半導(dǎo)體、自旋電子學(xué)材料等半導(dǎo)體新材料全球處于競爭初期,我國與國際基本同步,亟須持續(xù)加緊布局。
盡管我國在第三代半導(dǎo)體技術(shù)和產(chǎn)業(yè)方面與國際有一定的差距,但中國在第三代半導(dǎo)體的應(yīng)用需求和制度安排上有戰(zhàn)略優(yōu)勢,應(yīng)用驅(qū)動的發(fā)展模式有利于中國這種制造和市場大國。中國引領(lǐng)的全球能源互聯(lián)網(wǎng)、高速軌道交通、新能源汽車、5G移動通信、消費電子等應(yīng)用市場,都離不開第三代半導(dǎo)體的支撐。相較硅集成電路,第三代半導(dǎo)體材料對芯片性能起決定性作用,芯片制造工藝門檻相對低、投資小,對尺寸線寬、設(shè)計復(fù)雜度的要求遠低于硅集成電路,在材料、裝備、設(shè)計和芯片代工方面都有一些發(fā)展勢頭很好的企業(yè),打破封鎖的可能性更大,是最適合中國目前發(fā)力的半導(dǎo)體具體領(lǐng)域。
迭代研發(fā)不夠,公共平臺缺位,缺乏有效實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同發(fā)展的機制
中國經(jīng)濟時報:近年來,我國第三代半導(dǎo)體已經(jīng)成為市場熱門。當前,擴大第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域的有效投資、提升產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈現(xiàn)代化水平過程中遇到的問題與挑戰(zhàn)有哪些?
吳玲:當前以美國為主導(dǎo)的逆全球化浪潮加劇,信息安全、產(chǎn)業(yè)鏈安全、產(chǎn)業(yè)升級等多因素驅(qū)動,我國亟須擺脫對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈高度的對外依賴。我國產(chǎn)業(yè)面臨的主要問題與挑戰(zhàn)如下。
第一,產(chǎn)業(yè)鏈條不通、迭代研發(fā)不夠、資源整合不足。半導(dǎo)體在應(yīng)用系統(tǒng)中成本占比低,但性能和可靠性要求高,特別是汽車、高鐵、電網(wǎng)等高可靠性要求行業(yè),國產(chǎn)材料和器件進入應(yīng)用供應(yīng)鏈難度大、周期長,沒有機會通過應(yīng)用驗證進行迭代研發(fā),產(chǎn)業(yè)化能力提升慢。我國企業(yè)普遍小、散、弱,研發(fā)力量分散,低水平同質(zhì)競爭。中試階段迭代成本高,缺乏全鏈條的配套與整合能力,特別是涉及跨學(xué)科、跨鏈條、顛覆式技術(shù)路線的創(chuàng)新難度大,單靠企業(yè)力量很難實現(xiàn),需要有強有力的牽頭主體統(tǒng)籌組織形成全鏈條協(xié)同。
第二,開放的研發(fā)中試平臺缺位,質(zhì)量評價體系落后。共性技術(shù)需要開放的、高水平的硬件平臺支撐大中小企業(yè)融通聯(lián)合研發(fā),材料要被市場接受,需要解決可靠性、測試評價、標準等問題。雖然目前個別科研院所的平臺有一定的功能,但設(shè)備條件不足、開放性不夠、缺乏持續(xù)的資金支持。單獨企業(yè)建立的平臺開放性不夠、鏈條覆蓋少,特別是同行競爭企業(yè)很難使用。標準、檢測認證等能力也跟不上,質(zhì)量評價體系落后。比如車規(guī)級功率器件國內(nèi)車企基本等同采用英飛凌等國際大公司的企業(yè)標準,對國產(chǎn)材料和器件缺乏統(tǒng)一的評價方法、標準和第三方測評機構(gòu),導(dǎo)致國產(chǎn)化推進慢、配合意愿度低。
第三,“政產(chǎn)學(xué)研用金”聯(lián)動的科研攻關(guān)組織模式尚待完善。第三代半導(dǎo)體材料和器件既有面向電網(wǎng)、高鐵等壟斷行業(yè)的高端定制化產(chǎn)品需求,也有面向新能源、智能制造、消費類電子、新能源汽車等市場充分競爭的多樣化產(chǎn)品需求。目前國內(nèi)企業(yè)或科研機構(gòu)只能覆蓋個別環(huán)節(jié),在央地協(xié)同、政企結(jié)合、研產(chǎn)融合、國際合作的技術(shù)創(chuàng)新體系閉環(huán)方面能力不足,特別是在與國家重大科技項目部署銜接方面,需要與第三方組織建立協(xié)同一致的創(chuàng)新機制和利益共同體的連接機制。
頂層設(shè)計、系統(tǒng)推進、開放創(chuàng)新、形成合力,以應(yīng)用促發(fā)展
中國經(jīng)濟時報:如何加快補齊第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈短板,加快提升產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈現(xiàn)代化水平?
吳玲:我認為,加快提升我國第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈現(xiàn)代化水平,可以從以下幾個方面發(fā)力。
第一,聚焦國家戰(zhàn)略,重大項目牽引,凝聚創(chuàng)新合力。盡快啟動國家2030重大項目和材料國家實驗室,建設(shè)戰(zhàn)略定位高端、組織運行開放、創(chuàng)新資源聚集的平臺和國家戰(zhàn)略科技力量,創(chuàng)建重大項目、創(chuàng)新中心、產(chǎn)業(yè)基地、基金一體化組織模式,發(fā)揮新型舉國體制優(yōu)勢,統(tǒng)籌規(guī)劃、多措并舉、協(xié)同創(chuàng)新形成合力。引入專業(yè)第三方參與組織、協(xié)調(diào)和管理,建立清晰的管理界面,以及動態(tài)管理和考核辦法。針對不同細分領(lǐng)域建立目標明確、權(quán)責(zé)清晰、體系化任務(wù)型的產(chǎn)學(xué)研創(chuàng)新聯(lián)合體,集中力量,突破核心材料和裝備制約,打通堵點、斷點,形成產(chǎn)學(xué)研用緊密合作、大中小企業(yè)融通發(fā)展跨學(xué)科、跨領(lǐng)域、跨區(qū)域協(xié)同創(chuàng)新的局面。建立軍轉(zhuǎn)民協(xié)同創(chuàng)新模式,加強以應(yīng)用為目標的基礎(chǔ)材料、設(shè)計、工藝、裝備、封測、標準等國家體系化能力建設(shè),引導(dǎo)產(chǎn)業(yè)集群化發(fā)展。
第二,應(yīng)用促發(fā)展,培育龍頭,加速產(chǎn)業(yè)化能力提升。發(fā)揮大市場優(yōu)勢,以應(yīng)用促發(fā)展,建立技術(shù)供給與市場化拉動一體化的實施機制,選取新能源汽車及充電設(shè)施、智能電網(wǎng)、數(shù)據(jù)中心電源、5G通信設(shè)施等新型基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)典型應(yīng)用場景,以“百城億芯”示范工程推動新技術(shù)新產(chǎn)品落地,通過中央與地方政府投入,帶動企業(yè)和社會資本投入,加快迭代研發(fā),打通產(chǎn)業(yè)鏈條,降低企業(yè)創(chuàng)新應(yīng)用門檻。完善材料測試評價方法和標準,搭建國家級測試驗證和生產(chǎn)應(yīng)用示范平臺。培育細分領(lǐng)域國際龍頭品牌企業(yè),優(yōu)化產(chǎn)業(yè)布局和產(chǎn)業(yè)鏈結(jié)構(gòu),不斷增強國家自主可控的技術(shù)鏈和產(chǎn)業(yè)鏈,提升我國產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能力和國際競爭力。
第三,多措并舉,完善產(chǎn)業(yè)生態(tài)發(fā)展環(huán)境。面向具有戰(zhàn)略性和市場性雙重特征、顛覆性技術(shù)還未形成規(guī)?;瘧?yīng)用的新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,支持產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)盟作為第三方非營利實體,組織牽頭創(chuàng)新聯(lián)合體群,構(gòu)建科技資本鏈網(wǎng),實現(xiàn)國家信用對研發(fā)鏈、產(chǎn)業(yè)鏈和資本鏈的拉動,對產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)質(zhì)企業(yè)和研發(fā)平臺進行篩選,通過承接重大項目、基金投資等注入國家信用,在財政、稅收、金融、人才、法律、知識產(chǎn)權(quán)各方面得到政策支持。引導(dǎo)各類資本參與創(chuàng)新項目的市場化、規(guī)?;糯?,引導(dǎo)下游市場鏈資金以投資方式反哺上游研發(fā)鏈,實現(xiàn)良性循環(huán)。引進和培育由戰(zhàn)略性領(lǐng)軍人才、創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)人才,特別是成熟的工程技術(shù)人才和青年人才等各類創(chuàng)新人才隊伍的人才體系。注重知識產(chǎn)權(quán)戰(zhàn)略,鼓勵專利運營,建立有競爭力的專利池。構(gòu)建有序開放的技術(shù)標準與檢測認證服務(wù)體系,主動參與國際標準制訂,提高國際標準話語權(quán)。打造多主體、全鏈條、系統(tǒng)化的產(chǎn)業(yè)體系與生態(tài),完善發(fā)展環(huán)境。
第四,開放創(chuàng)新,推進精準深入的國際合作。因勢利導(dǎo)把握契機,加快鞏固中歐科技合作,系統(tǒng)性的、最大限度地利用好歐洲在若干半導(dǎo)體領(lǐng)域的領(lǐng)先地位,聚集全球創(chuàng)新資源。吸引國外有基礎(chǔ)、有意愿與中國深化合作的優(yōu)質(zhì)科技企業(yè)落地中國,帶動本土產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展,推動中國企業(yè)與全球產(chǎn)業(yè)鏈的緊密合作,開展常態(tài)化海外項目的輸送與技術(shù)轉(zhuǎn)移。如西歐(荷蘭、德國、意大利、法國等)、北歐(瑞典、丹麥、芬蘭等)、東歐(波蘭、匈牙利等)等在產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)均具備技術(shù)特色和優(yōu)勢,但這些國家普遍存在產(chǎn)業(yè)鏈不完整、市場規(guī)模有限等發(fā)展瓶頸,在保證雙贏的條件下,他們有和我國合作的動力和意愿。充分發(fā)揮社會組織在國際合作中的獨特優(yōu)勢,代表中國深入?yún)⑴c國際學(xué)術(shù)、技術(shù)組織,開展國際技術(shù)路線研究、標準研制等合作。
(來源:中國經(jīng)濟時報 郭錦輝)