集微網(wǎng)報(bào)道 4月20日，“2023中國(guó)光谷九峰山論壇暨化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)大會(huì)”在武漢光谷開幕。

此次大會(huì)以“攀峰聚智、芯動(dòng)未來(lái)”為主題，邀請(qǐng)海內(nèi)外院士專家、企業(yè)高管共800多位重量級(jí)嘉賓參加，其中包括眾多從事全球半導(dǎo)體新材料、新工藝領(lǐng)域的頂級(jí)專家，尤其是碳化硅（SiC）等第三代化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域泰斗。

會(huì)議期間，九峰山實(shí)驗(yàn)室首席運(yùn)營(yíng)官趙勇在接受集微網(wǎng)采訪時(shí)表示，九峰山實(shí)驗(yàn)室將做好鏈接產(chǎn)業(yè)和科研的橋梁，打造開放共享的平臺(tái)和創(chuàng)新培育的沃土，努力成為化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域的“燈塔”。

九峰山實(shí)驗(yàn)室于2021年由湖北省人民政府正式批復(fù)組建，是9大湖北實(shí)驗(yàn)室之一。實(shí)驗(yàn)室面向世界科技前沿，面向國(guó)民經(jīng)濟(jì)主戰(zhàn)場(chǎng)和國(guó)家重大需求，以建設(shè)先進(jìn)的化合物半導(dǎo)體研發(fā)和創(chuàng)新中心為愿景，在中國(guó)光谷建立全球一流的化合物半導(dǎo)體工藝、檢測(cè)基礎(chǔ)設(shè)施。聚集世界各地人才，建設(shè)打造公共、開放、共享的科研平臺(tái)。

截至目前，九峰山實(shí)驗(yàn)室已建成化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最先進(jìn)、規(guī)模最大的科研及中試平臺(tái)，包括9000平方米潔凈室以及一流的化合物半導(dǎo)體工藝、檢測(cè)、材料平臺(tái)，4/6/8 inch工藝平臺(tái)全兼容，化合物半導(dǎo)體材料設(shè)備全覆蓋，可擴(kuò)展下一代半導(dǎo)體設(shè)備能力。

在趙勇看來(lái)，九峰山實(shí)驗(yàn)室定位為鏈接產(chǎn)業(yè)和科研的橋梁。

“在硅基領(lǐng)域我們有一個(gè)很好的參考對(duì)象，就是該領(lǐng)域的燈塔——IMEC（比利時(shí)微電子研究中心），而在化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域還缺乏這樣的機(jī)構(gòu)，我們希望打通化合物半導(dǎo)體基礎(chǔ)研究、應(yīng)用、材料、裝備等全產(chǎn)業(yè)鏈，成為未來(lái)下一代技術(shù)的燈塔。”趙勇說。

據(jù)趙勇介紹，九峰山實(shí)驗(yàn)室規(guī)劃建設(shè)三條中試線，并計(jì)劃導(dǎo)入更多國(guó)產(chǎn)設(shè)備、材料，培養(yǎng)自己的工藝研發(fā)隊(duì)伍。

今年3月，九峰山實(shí)驗(yàn)室工藝中心8英寸中試線正式通線運(yùn)行，首批晶圓（高精密光柵）成功下線。這也標(biāo)志著實(shí)驗(yàn)室8英寸0.15μm以上技術(shù)節(jié)點(diǎn)設(shè)備及工藝的全線打通，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)高線密度、超高折射率、非周期性高精密光柵生產(chǎn)工藝空白。

此外，未來(lái)化合物半導(dǎo)體市場(chǎng)空間巨大，且保持高速增長(zhǎng)勢(shì)頭。依托于5G通信、智能汽車、清潔能源、物聯(lián)網(wǎng)、智能制造等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)需求為牽引，九峰山實(shí)驗(yàn)室將進(jìn)一步推動(dòng)化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

“我們希望不僅能夠在技術(shù)上指引未來(lái)方向，最關(guān)鍵是把這個(gè)產(chǎn)業(yè)和基礎(chǔ)研究也能拉動(dòng)起來(lái)，這是九峰山實(shí)驗(yàn)室的設(shè)想和努力目標(biāo)。”趙勇說。

趙勇表示，九峰山實(shí)驗(yàn)室希望打造一個(gè)開放共享的平臺(tái)和一片培育創(chuàng)新的沃土，打造量產(chǎn)級(jí)研發(fā)平臺(tái)。目前的三條中試產(chǎn)線，具備小批量生產(chǎn)能力。三條產(chǎn)線不僅可以提供給高校師生用于科研，很多國(guó)產(chǎn)設(shè)備、材料廠商也可以在產(chǎn)線上試用，也可以支持芯片設(shè)計(jì)廠商流片。

“不少高校和企業(yè)其實(shí)有很多創(chuàng)新的想法，但苦于沒有開放平臺(tái)能夠使用。而九峰山實(shí)驗(yàn)室的這三條線，為這些知識(shí)產(chǎn)權(quán)轉(zhuǎn)化成產(chǎn)值提供了條件和可能。”趙勇說。

趙勇認(rèn)為，九峰山實(shí)驗(yàn)室在化合物半導(dǎo)體方面具有幾方面的優(yōu)勢(shì)：

首先，品類最全。包括磷化銦、碳化硅、氮化鎵以及金剛石等都在積極布局，包括從設(shè)備到材料方面的研發(fā)和人才投入。其次，從4英寸、6英寸到8英寸，設(shè)備最為齊全。第三，武漢本身具有半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，有包括面板、存儲(chǔ)領(lǐng)域的龍頭企業(yè)帶動(dòng)，同時(shí)武漢高校眾多，有科研人才的保證，加之武漢市政府、高新區(qū)管委會(huì)一直以來(lái)的重視和支持，這些都成為九峰山實(shí)驗(yàn)室發(fā)力化合物半導(dǎo)體，爭(zhēng)做“燈塔”的底氣。