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天津工業(yè)大學(xué)副教授李龍女:基于國產(chǎn)芯片的平面型封裝1700V碳化硅模塊開發(fā)與性能表征

日期:2023-08-01 閱讀:660
核心提示:近日,2023功率與光電半導(dǎo)體器件設(shè)計及集成應(yīng)用論壇于西安召開。論壇由第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)指導(dǎo),西安交通

 近日,“2023功率與光電半導(dǎo)體器件設(shè)計及集成應(yīng)用論壇”于西安召開。論壇由第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)指導(dǎo),西安交通大學(xué)、極智半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)(m.ybx365.cn)、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)主辦,西安電子科技大學(xué)、中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟人才發(fā)展委員會、全國半導(dǎo)體應(yīng)用產(chǎn)教融合(東莞)職業(yè)教育集團聯(lián)合組織、西安和其光電股份有限公司等單位協(xié)辦。

李龍女

期間,天津工業(yè)大學(xué)副教授李龍女帶來了《基于國產(chǎn)芯片的平面型封裝1700V碳化硅模塊開發(fā)與性能表征》的主題報告。

SiC/GaN器件具有低導(dǎo)通電阻、快速開關(guān)、高耐壓、低開關(guān)損耗和高工作溫度當(dāng)前亟需針對SiC器件/模塊的先進(jìn)封裝,需要創(chuàng)新低寄生/雜散阻抗、高散熱效率的高可靠封裝結(jié)構(gòu),以及高耐溫 (> 200oC), 高導(dǎo)電性和高可靠的封裝材料。

報告介紹了開發(fā)采用全燒結(jié)銀互連和DBC的平面型封裝SiC功率模塊的研究成果,研究指出材料方面采用氮化鋁基板和燒結(jié)銀墊塊的封裝結(jié)構(gòu),可明顯降低雙面封裝結(jié)構(gòu)整體應(yīng)力,有利于提高模塊可靠性。封裝結(jié)構(gòu)方面采用模塊-C間隔排布MOS芯片和二極管方式,最高結(jié)溫更低,且各芯片間的溫度差異更小,且寄生電感較小,更有利于保持模塊性能。基于課題組低溫納米銀燒結(jié)工藝,制備基于國產(chǎn)芯片的平面型封裝1700V碳化硅半橋模塊。模塊整體厚度約5 mm。通過測試,各柵源電壓下柵源漏電流均很小。70A輸出時,漏源導(dǎo)通壓降為1.6V,與芯片I-V曲線一致,表明封裝過程寄生阻抗低,雙面互連也未引起芯片預(yù)損傷和老化退化。

CASICON 系列活動簡介

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(備注:以上信息僅根據(jù)現(xiàn)場整理未經(jīng)嘉賓本人確認(rèn),僅供參考?。?/p>

 
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