據國家知識產權局公告,北京大學申請一項名為“一種基于GaN與碳納米管的CMOS邏輯電路及其制備方法“,公開號CN117238958A,申請日期為2022年6月。
專利摘要顯示,本發(fā)明公開了一種基于GaN與碳納米管的CMOS邏輯電路及其制備方法。所述CMOS邏輯電路由制備在同一個芯片上的GaN n型晶體管和碳納米管p型晶體管組成,在襯底上依次層疊緩沖層、電子導電溝道層和勢壘層,GaN n型晶體管的源極、漏極和柵極結構位于勢壘層上,柵極位于柵極結構上,GaN n型晶體管上覆蓋鈍化層;碳納米管p型晶體管包括碳納米管溝道及其兩端的漏極和源極,在碳納米管溝道上依次為其柵介質層和柵極;碳納米管p型晶體管位于GaN n型晶體管側面或者上方的鈍化層上。本發(fā)明的CMOS邏輯電路飽和電流密度大,工作速度高,可以作為GaN功率器件的外圍電路,實現單片集成,有效解決目前Si電路帶來的片間寄生電感問題,從而充分發(fā)揮出GaN功率器件的性能優(yōu)勢。
(來源:金融界)