近日,吉林省人民政府發(fā)布了《吉林省人民政府關(guān)于2023年度吉林省科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)勵(lì)的決定》(吉政函〔2023〕80號(hào)),其中,中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所、奧趨光電技術(shù)(杭州)有限公司、楚赟精工科技(上海)有限公司合作項(xiàng)目“低缺陷氮化鋁材料制備關(guān)鍵技術(shù)及其深紫外光電器件”項(xiàng)目榮獲吉林省技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng)。所有完成人:1黎大兵,2孫曉娟,3吳亮,4徐春陽,5蔣科,6賁建偉,7張山麗,8王琦琨,9林桂榮,10石芝銘;所有完成單位:1中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所,2奧趨光電技術(shù)(杭州)有限公司,3楚赟精工科技(上海)有限公司。
2023年度吉林省技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng)共三項(xiàng),另兩項(xiàng)技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng)分別為“復(fù)雜服役環(huán)境工模具表面損傷仿生功能化數(shù)字修復(fù)新技術(shù)”(吉林大學(xué)等)、單細(xì)胞多維信息納米成像檢測(cè)與操縱技術(shù)及應(yīng)用(長春理工大學(xué)等)。據(jù)悉,2023年度吉林省科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)共評(píng)選出獎(jiǎng)勵(lì)項(xiàng)目281項(xiàng)(人),包括技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)6項(xiàng)(一等獎(jiǎng)3項(xiàng)、二等獎(jiǎng)3項(xiàng)),自然科學(xué)獎(jiǎng)74項(xiàng)目(一等獎(jiǎng)4項(xiàng)、二等獎(jiǎng)34項(xiàng)、三等獎(jiǎng)36項(xiàng)),科學(xué)進(jìn)步獎(jiǎng)200項(xiàng)(一等獎(jiǎng)28項(xiàng)、二等獎(jiǎng)73項(xiàng)、三等獎(jiǎng)99項(xiàng)),國際科學(xué)技術(shù)合作獎(jiǎng)1人。
氮化鋁、碳化硅、氮化鎵等寬禁帶半導(dǎo)體材料是新一代固態(tài)光源、電力電子、微波射頻器件的“核芯”,是全球半導(dǎo)體技術(shù)研究前沿和戰(zhàn)略競(jìng)爭(zhēng)的制高點(diǎn),美、日、歐等各國政府均積極進(jìn)行戰(zhàn)略部署,支持開展各項(xiàng)研究計(jì)劃。AlN具有高禁帶寬度(6.2eV)、高熱導(dǎo)率、高擊穿場(chǎng)強(qiáng)、良好的紫外透過率、化學(xué)和熱穩(wěn)定性等優(yōu)異性能,與金剛石一起稱為終極半導(dǎo)體材料。其中,氮化鋁作為襯底材料在紫外光電器件(UVC-LED、紫外激光器、紫外傳感)、各類射頻器件/功率器件及國防軍工(紫外預(yù)警、高功率X波段相控雷達(dá)、保密通信)等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用前景。美國氮化鋁單晶制備技術(shù)及相關(guān)產(chǎn)品十多年來一直對(duì)華封鎖與禁運(yùn),也是《中國制造2025》綠皮書重點(diǎn)支持戰(zhàn)略新材料。
關(guān)于中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所(簡(jiǎn)稱“長春光機(jī)所”)始建于1952年,由長春光機(jī)所與長春物理所于1999年整合而成,是新中國在光學(xué)領(lǐng)域建立的第一個(gè)研究所,主要從事發(fā)光學(xué)、應(yīng)用光學(xué)、光學(xué)工程、精密機(jī)械與儀器的研發(fā)生產(chǎn)。
建所70年來,長春光機(jī)所在以王大珩院士、徐敘瑢院士等為代表的一批科學(xué)家的帶領(lǐng)下,研制出中國第一臺(tái)紅寶石激光器、第一臺(tái)大型電影經(jīng)緯儀等多種先進(jìn)儀器設(shè)備,創(chuàng)造了十幾項(xiàng)“中國第一”;組建、援建了10余家科研機(jī)構(gòu)、大專院校和企業(yè)單位,并為其輸送了2200多名各類專業(yè)人才;有27位在本所學(xué)習(xí)或者工作過的優(yōu)秀科學(xué)家當(dāng)選為兩院院士,并涌現(xiàn)出“知識(shí)分子的優(yōu)秀代表”蔣筑英等眾多英模人物;先后參加了“兩彈一星”、“載人航天工程”等多項(xiàng)國家重大工程項(xiàng)目,為我國國防建設(shè)、經(jīng)濟(jì)發(fā)展和社會(huì)進(jìn)步做出了突出貢獻(xiàn)。
進(jìn)入知識(shí)創(chuàng)新工程以來,長春光機(jī)所堅(jiān)持以科技創(chuàng)新為核心的“研產(chǎn)學(xué)并舉”發(fā)展理念,在科研領(lǐng)域攻克了多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù),取得了以神舟系列有效載荷為代表的一批重大科研成果?,F(xiàn)有18個(gè)研究部室,其中國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室/工程中心6個(gè)、中科院重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室2個(gè)。長春光機(jī)所園區(qū)占地面積1平方公里,建筑面積41萬平方米,園區(qū)結(jié)構(gòu)合理、功能齊全、設(shè)施先進(jìn)、環(huán)境優(yōu)美。作為中科院博士生重點(diǎn)培養(yǎng)基地,長春光機(jī)所設(shè)有碩士點(diǎn)9個(gè)、博士點(diǎn)7個(gè)、博士后流動(dòng)站3個(gè),在學(xué)研究生千余人。
長春光機(jī)所現(xiàn)有在職職工2500余人,其中國家級(jí)各類領(lǐng)軍人才15人,國務(wù)院政府特殊津貼獲得者37人。通過實(shí)施科學(xué)的人才培養(yǎng)和評(píng)價(jià)體系,形成了創(chuàng)新人才輩出、創(chuàng)新成果不斷涌現(xiàn)的良好態(tài)勢(shì)。
長春光機(jī)所的各項(xiàng)工作得到社會(huì)各界的大力支持和充分肯定,曾榮獲多項(xiàng)獎(jiǎng)勵(lì)和榮譽(yù)稱號(hào)。2000年以來,獲得國家及省部級(jí)科技成果獎(jiǎng)勵(lì)165項(xiàng),其中國家科技進(jìn)步特等獎(jiǎng)3項(xiàng),國家科技進(jìn)步獎(jiǎng)、國家發(fā)明獎(jiǎng)、國家自然科學(xué)獎(jiǎng)共28項(xiàng),中科院、省部級(jí)一等獎(jiǎng)78項(xiàng)。2002-2003年,連續(xù)兩年獲得“全國五一勞動(dòng)獎(jiǎng)狀”,2011年被評(píng)為“全國先進(jìn)基層黨組織”,2014年被授予“全國文明單位”稱號(hào)。
關(guān)于奧趨光電技術(shù)(杭州)有限公司
奧趨光電是由海歸博士團(tuán)隊(duì)、半導(dǎo)體領(lǐng)域頂尖技術(shù)專家領(lǐng)銜,于2016年5月創(chuàng)立的高新技術(shù)、創(chuàng)新型企業(yè),總部位于浙江省杭州市。奧趨光電核心專注于第三代/第四代超寬禁帶半導(dǎo)體氮化鋁晶圓襯底材料、藍(lán)寶石基/硅基/碳化硅基氮化鋁/氮化鋁鈧薄膜模板、全自動(dòng)氮化鋁PVT氣相沉積爐及其相關(guān)產(chǎn)品的研發(fā)、制造與銷售,核心產(chǎn)品被列入《中國制造2025》關(guān)鍵戰(zhàn)略新材料與裝備目錄,是制備深紫外LED芯片、5G射頻前端濾波器、MEMS壓電傳感器等各類紫外發(fā)光器件、高溫/高頻射頻器件、高頻/高功率電子及激光器件的理想襯底/壓電材料。
奧趨光電經(jīng)過多年的高強(qiáng)度研發(fā)投入,于2019年成功開發(fā)出全球最大,直徑60mm的氮化鋁單晶及晶圓,并于2022年開發(fā)出直徑達(dá)76 mm的鋁極性氮化鋁單晶及3英寸晶圓樣片,奧趨光電同時(shí)也是全球首家藍(lán)寶石基氮化鋁薄膜模板大批量制造商。目前可向客戶提供2英寸及以下尺寸高質(zhì)量氮化鋁單晶襯底、2/4/6英寸藍(lán)寶石基/硅基/碳化硅基氮化鋁、氮化鋁鈧薄膜模板、氮化鋁單晶氣相沉積爐及熱處理設(shè)備等產(chǎn)品,同時(shí)向客戶及合作伙伴提供從設(shè)備設(shè)計(jì)、熱場(chǎng)設(shè)計(jì)、熱場(chǎng)模擬仿真技術(shù)開發(fā)、咨詢及生長工藝優(yōu)化到晶圓制程等全環(huán)節(jié)的完整工藝解決方案與專業(yè)技術(shù)服務(wù)。截止2023年11月,共申請(qǐng)/授權(quán)國際、國內(nèi)專利60余項(xiàng),是全球范圍內(nèi)本領(lǐng)域?qū)@麛?shù)量最多的團(tuán)隊(duì)之一,被公認(rèn)為本領(lǐng)域全球技術(shù)的領(lǐng)導(dǎo)者。
關(guān)于楚赟精工科技(上海)有限公司
楚赟精工科技(上海)有限公司成立于2014年,是一家化合物半導(dǎo)體全領(lǐng)域材料生長裝備制造國產(chǎn)化企業(yè),以MOCVD和CVD裝備為核心產(chǎn)品,致力于第三代半導(dǎo)體裝備和材料技術(shù)的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化,提供專業(yè)、定制的化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域核心技術(shù)裝備和新材料工藝。公司員工約30%擁有博士或碩士學(xué)位,在上海浦東張江擁有1000多平米的研發(fā)中心。公司專注于:(1)MOCVD、專業(yè)CVD等半導(dǎo)體高端裝備定制研發(fā)、生產(chǎn)制造和技術(shù)服務(wù);(2)高新材料定制生長與合作研究探索。