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北京大學申請半導體器件結構專利

日期:2023-12-27 閱讀:294
核心提示:據(jù)國家知識產權局公告,北京大學申請一項名為一種半導體器件結構及其制備方法和應用,公開號CN117293183A,申請日期為2023年9月

據(jù)國家知識產權局公告,北京大學申請一項名為“一種半導體器件結構及其制備方法和應用“,公開號CN117293183A,申請日期為2023年9月。

專利摘要顯示,本發(fā)明公開了一種半導體結構及其制備方法和應用,屬于半導體技術領域。本發(fā)明提出的半導體器件結構中,互補溝道層材料為氧化物半導體材料,具有寬禁帶的特點,可以獲得較低的器件關態(tài)電流,且利用溝道層材料為輕摻雜或者無摻雜的半導體襯底材料,與摻雜類型相反的源區(qū)和漏區(qū)一起組成了具體低泄漏電流特性的反偏PIN結。此外,由于漏區(qū)與底層柵導電層之間存在著一定大小的橫向間距,使得靠近漏區(qū)的溝道層表面不受柵控,可以進一步降低器件的關態(tài)電流。因此,本發(fā)明提出的半導體器件結構,關態(tài)電流明顯低于相同尺寸、相同半導體襯底材料的CMOS器件。

(來源:金融界)

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