2024年4月9-11日，一年一度化合物半導體行業(yè)盛會——2024九峰山論壇暨中國國際化合物半導體產(chǎn)業(yè)博覽會（簡稱“JFSC＆CSE”）將于武漢光谷科技會展中心舉辦。睿勵科學儀器（上海）有限公司將攜新品亮相本屆盛會，誠邀業(yè)界同仁蒞臨A316展臺參觀、交流合作。
本屆CSE博覽會由第三代半導體產(chǎn)業(yè)技術創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟、九峰山實驗室共同主辦，以“聚勢賦能 共赴未來”為主題，將匯集全球頂尖的化合物半導體制造技術專家、行業(yè)領袖和創(chuàng)新者，采用“示范展示+前沿論壇+技術與商貿(mào)交流”的形式，為產(chǎn)業(yè)鏈的升階發(fā)展搭建供需精準對接平臺，助力企業(yè)高效、強力拓展目標客戶資源，加速驅(qū)動中國化合物半導體產(chǎn)業(yè)鏈的完善和升級。
CSE作為2024年首場國際化合物半導體產(chǎn)業(yè)博覽會得到了多方力量的大力支持，三大主題展區(qū)，六大領域，將集中展示各鏈條關鍵環(huán)節(jié)的新技術、新產(chǎn)品、新服務，將打造化合物半導體領域的標桿性展會。助力打造全球化合物半導體平臺、技術、產(chǎn)業(yè)的燈塔級盛會，集中展示化合物半導體上下游全產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)品，搭建企業(yè)發(fā)布年度新產(chǎn)品新技術的首選平臺，支撐產(chǎn)業(yè)鏈及中部地區(qū)建設具有全球影響力的萬億級光電子信息產(chǎn)業(yè)集群。
睿勵科學儀器（上海）有限公司是位于上海張江高科技園區(qū)的集成電路裝備制造企業(yè)。公司成立于2005年，致力于開發(fā)、生產(chǎn)和銷售具有自主知識產(chǎn)權(quán)及核心技術的集成電路芯片工藝檢測設備，有深厚的技術歷史底蘊，主要產(chǎn)品在集成電路芯片制造、LED、OLED、光通訊等領域都有廣泛應用且都有相當?shù)氖姓悸省?/p>
產(chǎn)品介紹
光學膜厚量測設備
主要特點
l 適用于Si/SiC/GaN等集成電路制造前后道生產(chǎn)線，3D NAND制造生產(chǎn)線, DRAM制造生產(chǎn)線
l 可量測介質(zhì)材料、半導體硅化物材料、超薄金屬材料半導體薄膜的厚度、折射率和吸收系數(shù)
l 可測量晶圓襯底應力
l 量測范圍覆蓋10A~40um
l 0.1nm數(shù)量級的超精密量測
光學關鍵尺寸量測
主要特點
l 適用于集成電路制造前后道，3D NAND, DRAM等制造生產(chǎn)線
l 可應用于顯影后檢查（ADI）、刻蝕后檢查（AEI）等多種工藝段的二維或三維樣品的線寬、側(cè)壁角度（SWA）、高度（Height）/深度等關鍵尺寸（CD）特征或整體形貌測量
l 可測量二維多晶硅柵極刻蝕（PO）、隔離槽（STI）、隔離層（Spacer）、雙重曝光（Double Patterning）或三維連接孔（VIA）、鰭式場效應晶體管（FinFET）、閃存（NAND）等
l 具有高速、準確和非破壞性等特點
光學缺陷檢測設備
主要特點
l 適用于LED、化合物半導體以及光通訊等領域
l 可檢測缺陷類型：顆粒、污染、圖形缺少、劃傷、圖形黏連、殘留等
l 具備晶圓全表面檢測、自動缺陷分類以及高分辨率的缺陷復查功能
值此之際，我們誠邀業(yè)界同仁共聚本屆盛會，蒞臨展位現(xiàn)場參觀交流、洽談合作。
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