2024年4月9-11日，一年一度化合物半導(dǎo)體行業(yè)盛會(huì)——2024九峰山論壇暨中國(guó)國(guó)際化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)（簡(jiǎn)稱“JFSC＆CSE”）將于武漢光谷科技會(huì)展中心舉辦。北京京儀自動(dòng)化裝備技術(shù)股份有限公司將攜新品亮相本屆盛會(huì)，誠(chéng)邀業(yè)界同仁蒞臨1T12展臺(tái)參觀、交流合作。

 

本屆CSE博覽會(huì)由第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟、九峰山實(shí)驗(yàn)室共同主辦，以“聚勢(shì)賦能 共赴未來”為主題，將匯集全球頂尖的化合物半導(dǎo)體制造技術(shù)專家、行業(yè)領(lǐng)袖和創(chuàng)新者，采用“示范展示+前沿論壇+技術(shù)與商貿(mào)交流”的形式，為產(chǎn)業(yè)鏈的升階發(fā)展搭建供需精準(zhǔn)對(duì)接平臺(tái)，助力企業(yè)高效、強(qiáng)力拓展目標(biāo)客戶資源，加速驅(qū)動(dòng)中國(guó)化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的完善和升級(jí)。

CSE作為2024年首場(chǎng)國(guó)際化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)得到了多方力量的大力支持，三大主題展區(qū)，六大領(lǐng)域，將集中展示各鏈條關(guān)鍵環(huán)節(jié)的新技術(shù)、新產(chǎn)品、新服務(wù)，將打造化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域的標(biāo)桿性展會(huì)。助力打造全球化合物半導(dǎo)體平臺(tái)、技術(shù)、產(chǎn)業(yè)的燈塔級(jí)盛會(huì)，集中展示化合物半導(dǎo)體上下游全產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)品，搭建企業(yè)發(fā)布年度新產(chǎn)品新技術(shù)的首選平臺(tái)，支撐產(chǎn)業(yè)鏈及中部地區(qū)建設(shè)具有全球影響力的萬億級(jí)光電子信息產(chǎn)業(yè)集群。 

北京京儀自動(dòng)化裝備技術(shù)股份有限公司是一家集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為一體的高端裝備制造企業(yè)，主要產(chǎn)品包括半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備(Chiller)、晶圓傳片設(shè)備(Sorter/EFEM)、半導(dǎo)體專用工藝廢氣處理設(shè)備(LocalScrubber)等專用設(shè)備，現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED、LCD等領(lǐng)域。2023年11月29日在上海證券交易所科創(chuàng)板上市，股票簡(jiǎn)稱為京儀裝備，股票代碼為688652。

產(chǎn)品介紹

晶圓傳片設(shè)備(Sorter)

晶圓傳片設(shè)備(Sorter)是集成電路制造過程中不可或缺的設(shè)備之一，主要由潔凈大氣機(jī)械手、晶圓載物臺(tái) (Load port)、晶圓對(duì)準(zhǔn)器(Aligner)、視覺系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和超潔凈運(yùn)行空間組成，可以執(zhí)行分批\合批\排序\倒片等傳片、讀取Wafer ID、對(duì)齊Notch 口、讀\寫 FOUP ID、晶圓翻轉(zhuǎn)等任務(wù)組合，可接入工廠的自動(dòng)化系統(tǒng)與天車、Stocker對(duì)接實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化運(yùn)行。

 

 

 

  

半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備 (Chiller) 

半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備 (Chiller)主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個(gè)自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備。研發(fā)人員在常規(guī) PID 控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測(cè)控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù)，顯著地提高了Chiller 的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度。

單通道系列Single channel series

型號(hào)：V101

核心特點(diǎn)：優(yōu)異低溫性能；

節(jié)能控制技術(shù)；

智能控制方案

 

雙通道系列Dual channel series

型號(hào)：V201

核心特點(diǎn)：優(yōu)異低溫性能；

節(jié)能控制技術(shù)；

智能控制方案

 

 

雙通道系列Dual channel series

型號(hào)：V200

核心特點(diǎn)：滿足切換控溫需求，快速響應(yīng)；

優(yōu)異的低溫性能；

具有液位平衡功能；

兩級(jí)閉環(huán)節(jié)能控制

 

 

三通道系列Triple channel series

型號(hào)：B-830TC

核心特點(diǎn)：三通道整合，達(dá)到空間的高效利用；

優(yōu)化系統(tǒng)傳熱設(shè)計(jì)，節(jié)省循環(huán)液使用量；

深化性能開發(fā)，匹配先進(jìn)刻蝕工藝需求；

具有液位平衡功能

 

 

三通道系列Triple channel series

型號(hào)：T320

核心特點(diǎn)：滿足混合控溫需求，快速響應(yīng)；

具有自動(dòng)purge功能；

具有液位平衡功能；

兩次閉環(huán)節(jié)能控制

 

 

面板系列Panel series

型號(hào)：S301

核心特點(diǎn)：滿足相關(guān)工藝三通道需求；

兩級(jí)閉環(huán)節(jié)能控制；

具有自動(dòng)補(bǔ)液功能

 

面板系列Panel series

型號(hào)：H110

核心特點(diǎn)：滿足大流量大負(fù)載需求；

冷卻水自動(dòng)調(diào)節(jié)；

兩級(jí)閉環(huán)節(jié)能控制;

具有自動(dòng)補(bǔ)液功能

  

半導(dǎo)體專用工藝廢氣處理設(shè)備（Local Scrubber） 

半導(dǎo)體專用工藝廢氣處理設(shè)備是為半導(dǎo)體、液晶面板等行業(yè)中所產(chǎn)生的有毒害化學(xué)品提供一個(gè)可控制的氣體處理環(huán)境。針對(duì)不同化學(xué)品的化學(xué)性質(zhì)和物理性質(zhì)選用不同形式的處理方式進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)或物理吸附等，以達(dá)到綠色環(huán)保等級(jí)的處理效率和排放標(biāo)準(zhǔn)。我司對(duì)半導(dǎo)體專用工藝廢氣處理設(shè)備具備獨(dú)立的研發(fā)技術(shù)能力，能夠?yàn)槊恳晃豢蛻籼峁﹥?yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)。 

產(chǎn)品特點(diǎn)：符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)

大量的市場(chǎng)裝機(jī)容量

產(chǎn)品維護(hù)方便快捷

多種可選配置，給客戶提供更多選擇

等離子水洗式產(chǎn)品系列Plasma Wet Type

型號(hào)Kylin PW系列

適用制程

適用于半導(dǎo)體制程(CVD/PVD/ETCH/DIFF)，以及光伏、面板、LED行業(yè)

對(duì)全氟化碳(PFC)氣體處理的效果卓越

全新系統(tǒng)設(shè)計(jì)

等離子弧火焰超過3000℃，可以高效處理PFC氣體

低耗電量，等離子電源能耗可根據(jù)應(yīng)用制程進(jìn)行調(diào)節(jié)

可供選擇的功能模塊

循環(huán)水冷卻模塊，降低新水消耗

粉塵自清潔模塊，預(yù)防粉塵堵塞

氮氧化物處理模塊，實(shí)現(xiàn)氮氧化物排放可控

可維護(hù)性、安全性增強(qiáng)

PLC安全互鎖系統(tǒng)，煙感，漏液偵測(cè)等傳感器的使用，保證設(shè)備安全運(yùn)行；

部件模塊化設(shè)計(jì)，便于拆裝維護(hù)

高利用效率

高流量以及多進(jìn)口設(shè)計(jì)，可以連接多個(gè)工藝腔體

較小的占地面積

 

 

雙腔燃燒水洗式產(chǎn)品系列Burn Wet Type-Dual System

型號(hào)：Kylin DB 系列

適用制程

適用于半導(dǎo)體制程(CVD/PVD/ETCH/DIFF)，以及光伏、面板、LED行業(yè)

全新系統(tǒng)設(shè)計(jì)

采用燃燒水洗式雙腔設(shè)計(jì)，2+2or 3+3 inlet可支持多個(gè)工藝腔體連接。雙腔功能，單腔切換，獨(dú)立工作，相互之間無影響

氣體處理量400+400slm/800+800slm,CDA與02版本滿足不同氣體處理量需求

燃燒反應(yīng)腔

可自身/雙機(jī)互備，提供更多互備方案選擇，實(shí)現(xiàn)資源利用最大化

支持Process Mode/Idle Mode 多個(gè)模式可選降低能耗

可維護(hù)性、安全性增強(qiáng)

部件模塊化設(shè)計(jì)及靈活的維護(hù)空間便于拆裝

PLC安全互鎖系統(tǒng)，煙感，漏液偵測(cè)等傳感器的使用，保證設(shè)備安全運(yùn)行；

高利用效率

高流量以及多進(jìn)口設(shè)計(jì)，可以連接多個(gè)工藝腔體

較小的占地面積

 

 

電加熱水洗式產(chǎn)品系列Thermal Wet Type

型號(hào)：Kylin TW 系列

使用制程

適用于半導(dǎo)體制程(CVD/PVD/DIFF)

全新系統(tǒng)設(shè)計(jì)

采用水洗-加熱-水洗的三位一體處理結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，延長(zhǎng)設(shè)備維護(hù)周期

多模塊選配-自動(dòng)旁通閥模塊、腔體粉塵自清潔模塊、循環(huán)水冷卻模塊

電加熱反應(yīng)腔

可調(diào)節(jié)的加熱溫度區(qū)間提高了控制廢氣處理溫度的靈活性

獨(dú)立的加熱棒設(shè)計(jì)提高熱效率，并易更換

“Top-Down”結(jié)構(gòu)預(yù)防粉塵堆積

可維護(hù)性、安全性增強(qiáng)

設(shè)備各部件模塊化設(shè)計(jì)便于設(shè)備維護(hù)

PLC設(shè)計(jì)完備的安全互鎖系統(tǒng)保證設(shè)備安全穩(wěn)定運(yùn)行

高利用效率

高流量以及多進(jìn)口設(shè)計(jì)，可以連接多個(gè)工藝腔體

較小的占地面積

 

單腔燃燒水洗式產(chǎn)品系列Burn Wet Type-Single System

型號(hào)：Kylin BW 系列

適用制程

適用于半導(dǎo)體制（CVD/PVD/ETCH/DIFF）以及光伏、面板或LED行業(yè)

全新系統(tǒng)設(shè)計(jì)

采用燃燒水洗式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，多進(jìn)口可支持多個(gè)工藝腔體連接

氣體處理量400slm/800slm，CDA與02版本滿足不同氣體處理量需求

燃燒反應(yīng)腔

火焰系統(tǒng)防風(fēng)設(shè)計(jì)保證火焰燃燒穩(wěn)定

支持 Process Mode/Idle Mode多個(gè)模式可選，降低能耗

可維護(hù)性、安全性增強(qiáng)

部件模塊化設(shè)計(jì)及靈活的維護(hù)空間便于拆裝

PLC安全互鎖系統(tǒng)，煙感，漏液偵測(cè)等傳感器的使用，保證設(shè)備安全運(yùn)行；

高利用效率

高流量以及多進(jìn)口設(shè)計(jì)，可以連接多個(gè)工藝腔體

較小的占地面積

 

值此之際，我們誠(chéng)邀業(yè)界同仁共聚本屆盛會(huì)，蒞臨展位現(xiàn)場(chǎng)參觀交流、洽談合作。

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