日前，位于浙江麗水經(jīng)開區(qū)的麗水睿昇半導(dǎo)體科技有限公司集成電路制造設(shè)備用關(guān)鍵零部件產(chǎn)業(yè)化項目傳來新動向。睿昇半導(dǎo)體是寧波江豐電子材料股份有限公司的二級子公司。后者是專業(yè)從事超大規(guī)模集成電路高純金屬材料及濺射靶材研發(fā)生產(chǎn)的國家高新技術(shù)企業(yè)。

麗水經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)消息顯示，作為寧波江豐電子在麗水投資的3個大項目之一，睿昇半導(dǎo)體集成電路制造設(shè)備用關(guān)鍵零部件產(chǎn)業(yè)化項目總投資10億元，于2022年招引落地，主要建設(shè)集成電路大型濺射設(shè)備零部件生產(chǎn)線，生產(chǎn)傳輸平臺、反應(yīng)腔、傳輸腔、焊接反應(yīng)腔等產(chǎn)品。建成達產(chǎn)后，可實現(xiàn)年產(chǎn)6000套集成電路制造設(shè)備用零部件的生產(chǎn)能力，預(yù)計可實現(xiàn)年產(chǎn)值15億元、稅收1.1億元。

目前，該項目基礎(chǔ)工程已經(jīng)全部完成，開啟了建設(shè)沖刺模式。截至目前，項目整體施工進度已達75%，同時大部分設(shè)備已進場調(diào)試并開始產(chǎn)品打樣。預(yù)計7月，項目即可實現(xiàn)正式投產(chǎn)。