7月11日，廣東中科半導體微納制造技術研究院（以下簡稱“廣東微納院”）半導體微納加工中試平臺通線暨項目簽約儀式舉行。

南?？萍枷@示，會上，廣東微納院半導體微納加工中試平臺通線，微納院二期項目正式封頂，一批半導體項目現(xiàn)場簽約。

活動現(xiàn)場，蘇州敏芯微電子技術股份有限公司、科大訊飛股份有限公司、中國科學院長春光學精密機械與物理研究所等12家企業(yè)、科研院所與廣東微納院簽訂中試合作協(xié)議。未來，廣東微納院“半導體材料外延與表征”、“半導體微納加工”兩大中試平臺將分別為合作企業(yè)提供提供外延定制、表征測試及全流程中試流片、技術咨詢等多種中試服務。

據(jù)介紹，平臺建成后，將具備8英寸硅晶圓和氮化鎵晶圓加工能力。廣東微納院消息顯示，半導體微納加工中試平臺建有8英寸硅晶圓及8英寸(向下兼容)氮化鎵(GaN)晶圓加工線，擁有超百臺芯片加工設備，涵蓋光刻、鍍膜、刻蝕、摻雜、量測等全流程工藝；半導體材料外延與表征中試平臺專注于第三代半導體材料外延生長技術，擁有10余套材料外延生長的MOCVD設備和20余套滿足各類材料/器件檢測的測試設備，具備8英寸硅晶圓及硅基氮化鎵晶圓切割加工、大功率LED陶瓷封裝等能力。

依托半導體中試平臺，廣東微納院于2023年啟動二期建設。二期定位為產(chǎn)業(yè)孵化區(qū)，建設6萬平方米專業(yè)化半導體產(chǎn)業(yè)載體，其中潔凈廠房3.4萬平方米，預計2025年一季度進入試運行階段，將打造成為華南地區(qū)潔凈面積最大、產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋最全的專業(yè)化技術驅動型主題園區(qū)?；顒优e行了簡單而隆重的二期產(chǎn)業(yè)孵化區(qū)封頂儀式，6家企業(yè)與廣東微納院簽訂了意向落戶協(xié)議。

南?？萍枷@示，當前廣東微納院已構建了‘一核五園多要素’平臺格局，除了中試平臺通線及二期項目封頂外，研究院將推進三期項目規(guī)劃，持續(xù)配備更多半導體產(chǎn)業(yè)相關設備，引進培育一批半導體上下游產(chǎn)業(yè)企業(yè)，打造成半導體全鏈條產(chǎn)業(yè)服務平臺。

（來源：集微）