2024年11月18-21日，第十屆國際第三代半導(dǎo)體論壇（IFWS2024）&第二十一屆中國國際半導(dǎo)體照明論壇（SSLCHINA2024）、先進(jìn)半導(dǎo)體技術(shù)應(yīng)用創(chuàng)新展（CASTAS）將在蘇州國際博覽中心舉辦。
馬爾文帕納科將攜多款設(shè)備產(chǎn)品亮相此次展會。值此，誠摯邀請第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)同仁共聚論壇，蒞臨A12號展位參觀交流、洽談合作。
關(guān)于馬爾文帕納科
馬爾文帕納科，微觀分析領(lǐng)域的專家，致力于釋放微觀世界的力量，促成宏觀世界的改變。通過利用專業(yè)的化學(xué)、物理和結(jié)構(gòu)分析技術(shù)及廣泛的行業(yè)知識和應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，幫助您開發(fā)質(zhì)量更好的產(chǎn)品，并縮短產(chǎn)品的上市時間。主要產(chǎn)品有X射線衍射儀、X射線熒光光譜儀、激光粒度儀、納米粒度電位儀等等。
馬爾文帕納科X射線分析技術(shù)具有近百年的發(fā)展歷史，是全球主要的X射線分析軟硬件供應(yīng)商。其備受認(rèn)可的高分辨X射線衍射儀為半導(dǎo)體外延分析而設(shè)計，可進(jìn)行單晶外延、非晶、多晶薄膜量測，提供厚度和超晶格周期、成分和失配率、應(yīng)變和弛豫、曲率半徑、襯底材料取向等關(guān)鍵參數(shù)。測量晶圓最大直徑可達(dá)300mm，輕松集成自動裝片系統(tǒng)。
2023年弗萊貝格（Freiberg）的部分XRD業(yè)務(wù)并入馬爾文帕納科（Malvern Panalytical），多款單晶定向儀將為國內(nèi)半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)提供更快速、更精準(zhǔn)的單晶定向測量，進(jìn)一步提高晶圓產(chǎn)品的良率。
馬爾文帕納科隸屬于精密儀器與過程控制設(shè)備制造商英國思百吉集團(tuán)。
Malvern Panalytical
Malvern Panalytical, an expert in the field of microanalysis, is committed to unleashing the power of the microscopic world to effect changes in the macroscopic world. By leveraging professional chemical, physical, and structural analysis technologies, along with extensive industry knowledge and application experience, we help you develop higher quality products and shorten the time to market. Our main products include X-ray diffractometers, X-ray fluorescence spectrometers, particle size analyzers, and more.
Malvern Panalytical's X-ray analysis technology has a development history of nearly a century and is a major global supplier of X-ray analysis software and hardware. Its highly recognized high-resolution X-ray diffractometers are designed for semiconductor epitaxy analysis, capable of measuring single crystal epitaxy, amorphous, and polycrystalline thin films. It provides key parameters such as thickness and superlattice period, composition and mismatch rate, strain and relaxation, curvature radius, and substrate material orientation. The maximum diameter of the wafer that can be measured is up to 300mm, and it can be easily integrated with an automatic sample loading system.
In 2023, part of the XRD business in Freiberg was integrated into Malvern Panalytical. Several single crystal orientation instruments will provide domestic semiconductor production enterprises with faster and more accurate single crystal orientation measurements, further improving product yield.
Malvern Panalytical is part of Spectris plc, the productivity-enhancing instruments and controls company.
產(chǎn)品介紹
1，產(chǎn)品名稱：X’Pert3 MRD/XL新一代高分辨X射線衍射儀
產(chǎn)品特點(diǎn)及應(yīng)用：馬爾文帕納科新一代 X'Pert³ MRD (XL) 高分辨X射線衍射儀，專為薄膜分析打造，具有全新編碼定位技術(shù)測角儀、PreFIX預(yù)校準(zhǔn)光路系統(tǒng)，適用高負(fù)載條件的歐拉環(huán)樣品臺，允許裝載200mm-300mm的晶圓，PIXcel3D探測器實(shí)現(xiàn)高動態(tài)范圍的測量，靈活切換0D-1D-2D靜態(tài)及掃描模式。性能的改進(jìn)大大增強(qiáng)其可靠性，進(jìn)一步提高了分析能力?？商峁┮惑w化解決方案來滿足不同需求和應(yīng)用：
• 半導(dǎo)體和單晶晶圓：倒易空間探索、搖擺曲線分析
• 多晶固體和薄膜：織構(gòu)分析、反射測量
• 超薄薄膜、納米材料和非晶層：掠入射物相鑒定、面內(nèi)衍射
• 非常溫條件下的測量：隨溫度和時間變化的峰高
2，產(chǎn)品名稱：Empyrean 銳影多功能X射線衍射儀
產(chǎn)品特點(diǎn)及應(yīng)用：Empyrean 銳影具有在一臺儀器上測量多種類樣品的能力，無論是粉末、薄膜還是納米材料與固體物體。作為馬爾文帕納科第三代Empyrean銳影，具有智能 “MultiCore”多核光路系統(tǒng)，無需人工干預(yù)即可實(shí)現(xiàn)多種類的不同測量。外延薄膜分析中，Empyrean銳影可以放置最大140毫米的晶圓，對2英寸的晶圓或晶圓碎片進(jìn)行完整XY Mapping。此外，在薄膜分析領(lǐng)域的應(yīng)用還包含有：
· 物相鑒定（和深度剖析）
· X射線反射
· 薄膜應(yīng)力分析
· 織構(gòu)分析
· In-plane衍射
· 外延層分析
· 倒易空間Mapping
· 非常溫環(huán)境條件下測量
3，產(chǎn)品名稱：Omega/Theta 晶向定位儀
產(chǎn)品特點(diǎn)及應(yīng)用：
· 測試速度快：10s
· 測角精度高：0.003°
· 端面及參考邊定向
· SiC鑄錠粘接轉(zhuǎn)移技術(shù)
· Flat/Notch的光學(xué)測量功能
· 鑄錠及晶圓的面掃
· 搖擺曲線單點(diǎn)檢測及面掃
4，產(chǎn)品名稱：SDCOM晶向定位儀
產(chǎn)品特點(diǎn)及應(yīng)用：
· 測試速度快：10s
· 測角精度高：0.01°
· 臺式設(shè)備，無需水冷
· 多種樣品臺可選
· 晶圓片及鑄錠面掃
· SiC鑄錠粘接轉(zhuǎn)移技術(shù)
· Flat/Notch的光學(xué)測量功能
參會聯(lián)系：
今年，第十屆國際第三代半導(dǎo)體論壇&第二十一屆中國國際半導(dǎo)體照明論壇（IFWS＆SSLCHINA2024）將于11月18-21日在蘇州國際博覽中心舉辦，國內(nèi)外院士專家齊聚，數(shù)十場會議活動，數(shù)百位報告嘉賓，全產(chǎn)業(yè)鏈知名企業(yè)參與&參展，內(nèi)容全面覆蓋行業(yè)工藝裝備、原材料、技術(shù)、產(chǎn)品與應(yīng)用各環(huán)節(jié)，融合聚集產(chǎn)、學(xué)、研、用、政、金多個層面的資源，年度國際第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)“風(fēng)向標(biāo)”盛會，11月相聚蘇州，共襄盛會，共謀發(fā)展！歡迎業(yè)界同仁咨詢參展參會，免費(fèi)觀展交流合作！》》》最新60+報告嘉賓公布！IFWS&SSLCHINA2024報名中！
