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浙之芯申請(qǐng)一種氮化鎵傳感器及制備方法和裝置專(zhuān)利,大大提高氮化鎵傳感器的制備效率

日期:2024-12-20 閱讀:243
核心提示:國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示,浙之芯(杭州)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為一種氮化鎵傳感器及制備方法和裝置的專(zhuān)利,公開(kāi)號(hào)CN 119

國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示,浙之芯(杭州)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種氮化鎵傳感器及制備方法和裝置”的專(zhuān)利,公開(kāi)號(hào)CN 119141232 A,申請(qǐng)日期為2024年9月。

專(zhuān)利摘要顯示,本發(fā)明涉及氮化鎵傳感器制備技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種氮化鎵傳感器及制備方法和裝置,包括底座和制備組件,制備組件包括底部移動(dòng)單元、移動(dòng)架、多個(gè)回彈單元下壓板防滑保護(hù)板、第一驅(qū)動(dòng)單元、第一刀片、第二驅(qū)動(dòng)單元、第二刀片和上推單元,通過(guò)第一刀片從上方對(duì)襯底切割,改變尺寸大小,啟動(dòng)第二驅(qū)動(dòng)單元,通過(guò)第二刀片從側(cè)面對(duì)襯底切割,改變襯底厚度,最后上推單元啟動(dòng),將下壓板襯底上推,然后底部移動(dòng)單元帶動(dòng)移動(dòng)架和下壓板遠(yuǎn)離襯底,不再抵持,將切割完成的襯底進(jìn)行拋光,使其適配不同的氮化鎵傳感器需求,制備襯底方便快捷,從而大大提高氮化鎵傳感器的制備效率。

 

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