國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，山東晶鎵半導(dǎo)體有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種紫外光催化輔助的氮化鎵晶圓拋光方法”的專(zhuān)利，公開(kāi)號(hào) CN 119635419 A，申請(qǐng)日期為2024年12月。

專(zhuān)利摘要顯示，本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種紫外光催化輔助的氮化鎵晶圓拋光方法，包括如下步驟：S1，將研磨沖洗后的氮化鎵晶圓固定于拋光機(jī)的夾具上；S2，對(duì)拋光機(jī)的密封艙進(jìn)行抽真空處理，直至真空度達(dá)到設(shè)定的真空度閾值，然后向密封艙內(nèi)充入氧氣，直至密封艙內(nèi)氧氣的壓力值達(dá)到設(shè)定的壓力閾值；S3，打開(kāi)紫外燈和加熱器，紫外燈照射拋光液，加熱器將拋光液加熱到設(shè)定的溫度并維持該溫度恒定，然后啟動(dòng)拋光機(jī)，對(duì)氮化鎵晶圓進(jìn)行拋光；S4，對(duì)拋光完成后對(duì)氮化鎵晶圓進(jìn)行清洗。本方法提高了氧化速率，進(jìn)而提高了氮化鎵晶圓的拋光效率。

天眼查資料顯示，山東晶鎵半導(dǎo)體有限公司，成立于2023年，位于濟(jì)南市，是一家以從事計(jì)算機(jī)、通信和其他電子設(shè)備制造業(yè)為主的企業(yè)。企業(yè)注冊(cè)資本1307.1895萬(wàn)人民幣。通過(guò)天眼查大數(shù)據(jù)分析，山東晶鎵半導(dǎo)體有限公司參與招投標(biāo)項(xiàng)目2次，專(zhuān)利信息9條，此外企業(yè)還擁有行政許可5個(gè)。