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中山大學(xué)王鋼：基于金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積的ε-Ga2O3薄膜異質(zhì)外延及其在場效應(yīng)晶體管中的應(yīng)用

視頻MOCVD20222025-01-10 11:58

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基于金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積的-Ga2O3薄膜異質(zhì)外延及其在場效應(yīng)晶體管中的應(yīng)用王鋼*，陳偉驅(qū)，羅浩勛，陳梓敏，盧星，裴艷麗中山大學(xué)

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