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【極智報告】南京大學(xué)陳琳：6英寸GaN襯底生長用HVPE反應(yīng)腔的三維數(shù)值模擬

南京大學(xué)教授陸海報告中介紹了寬禁帶半導(dǎo)體紫外光電探測器及其應(yīng)用進展。介紹了基于III族氮化物半導(dǎo)體和SiC的高性能UV光電探測器的材料生長，設(shè)計和制造方面的最新工作。

深紫外(DUV)和極深紫外(EUV)探測器在光刻、天文監(jiān)測以及國防預(yù)警等諸多領(lǐng)域具有非常廣闊的應(yīng)用前景。在適用于DUV和EUV探測的所有