AE 推出一款嶄新的電漿工藝設備電源系統(tǒng)，并確保其先進固態(tài)匹配器及集成了射頻發(fā)生器和匹配器的解決方案可以支持更多高效的功能

Advanced Energy(Nasdaq: AEIS) 一直致力于開發(fā)各種先進的高精確度電源轉換、測量和控制系統(tǒng)等解決方案，這方面的技術更一直領先全球。該公司宣布推出三個可支持先進技術節(jié)點半導體晶圓工藝設備的全新解決方案。

Advanced Energy 半導體產(chǎn)品副總裁兼總經(jīng)理 Peter Gillespie 表示：「隨著第4次工業(yè)革命揭開帷幕，半導體制造技術不斷發(fā)展，并且迅速掀起翻天覆地的轉變。在開發(fā)相關的電源解決方案時，Advanced Energy 一直走在發(fā)展的前沿，我們的電源系統(tǒng)可確保半導體產(chǎn)品外形更為小巧，也讓生產(chǎn)商可以更快速、更嚴格控制工藝，而且又可降低擁有成本，因此廠商客戶都很倚重我們這方面的技術生產(chǎn)各種芯片，新芯片的量產(chǎn)又帶動整個信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。工藝設備電源系統(tǒng)以前幾乎完全被人忽視，現(xiàn)在則越來越多人肯定其重要性，認為工藝設備電源技術在整個晶圓生產(chǎn)過程中發(fā)揮極具關鍵的作用。我們很樂意分享我們這方面的產(chǎn)品，例如"可支持整個工藝的電源產(chǎn)品"。我們也會在展覽期內(nèi)率先推出"可支持整個平臺的電源產(chǎn)品"，其中包括Advanced Energy 雅特生科技產(chǎn)品部的一系列電源產(chǎn)品?！?/p>

Advanced Energy 推出以下幾個極具價值的全新系統(tǒng)解決方案，新的電源技術顯示電源系統(tǒng)如何以全新的方法為電漿工藝設備提供供電：

eVoSLE:Advanced Energy 推出一項嶄新的非正弦波電漿工藝設備電源技術。這個稱為eVoS的平臺可以控制投射在物料表面極少范圍內(nèi)的離子能量。這是先進蝕刻和沉積工藝所越來越倚重的技術，可用于生產(chǎn)精密的5納米(nm)及以下的晶圓。一向以來，正弦波射頻偏壓電漿工藝采用一種較為復雜的多頻率電源系統(tǒng)，而eVoS平臺則是一個產(chǎn)生離子能量分布較窄的客制化方案，為市場提供另一個較為簡單的選擇。Advanced Energy 這個解決方案可確保離子能量分布范圍更加直接受到控制，也有助于提高偏壓電源的能效，而且可降低電源損耗，較傳統(tǒng)的解決方案更優(yōu)勝。晶圓的封裝大小設計日趨復雜，要解決生產(chǎn)上的問題就必須充分利用這項新技術的優(yōu)點。eVoS LE (即低能量) 則可提供容易準確控制供電量的電源系統(tǒng)，最適用于極重要的電漿工藝方面的應用，例如，原子層蝕刻(ALE)、蝕刻、清潔、沉積和原子層沉積(ALD)。

Navigator?II FCi:Advanced Energy 的 Navigator II 一直是領先業(yè)界的阻抗匹配網(wǎng)絡平臺，大受市場歡迎。該公司現(xiàn)在乘勢推出一款全新的 Navigator II FCi。這款更快的固態(tài)匹配網(wǎng)絡平臺無論在價值、速度以及調(diào)諧范圍都勝于標準的匹配器產(chǎn)品。Navigator II FCi 采用高速的PIN型二極管技術，與Advanced Energy 早前率先在市場推出的 Navigator II FastCap固態(tài)匹配器各有優(yōu)點，兩者可產(chǎn)生相輔相成的作用，讓功率輸出和阻抗范圍可以擴大，響應時間也可縮短至亞毫秒(ms)水平。Navigator II FCi 沒有轉動的零部件，因此其可靠性和可復制性優(yōu)于傳統(tǒng)的真空電容匹配器。Navigator II FCi 可支持與原子層蝕刻有關的先進應用，并加強其功能，讓這類應用可支持各式各樣日漸增多的應用，以滿足新產(chǎn)品市場的規(guī)格要求。例如，稱為 Paramount HFi 的全新射頻電源系統(tǒng)除了集成匹配器和發(fā)生器之外，也同樣采用 Navigator II FCi 這種高速PIN型二極管技術。

Paramount?HFi:這款高度集成的射頻電源系統(tǒng)采用小巧的封裝，但性能卓越，成本低廉，可滿足先進沉積工具的嚴格要求。2000年，Advanced Energy 成功開發(fā)業(yè)界首款可量產(chǎn)而又全面集成了發(fā)生器和匹配器電源系統(tǒng)。這款稱為Apex的射頻電源系統(tǒng)至今仍是沉積射頻應用方面的理想電源，其優(yōu)點是可在四個不同調(diào)諧范圍之間切換。全新的 Paramount HFi 沿著這個路向再跨進一大步，提供32個不同調(diào)諧范圍，另外還配備一個改良的全數(shù)字控制系統(tǒng)以及一個全新VI (射頻計量學) 傳感器。由于 Paramount HFi 配備這些新功能，加上另外還有擴大了的操作窗口，因此除了可以支持先進的工藝控制之外，還有高度可重復性的優(yōu)點，甚至配備一個共激機模式，以確保采用集群配置的不同系統(tǒng)可以同步操作，以及支持先進的通信協(xié)議(EtherCAT)。Paramount HFi 具有體積小巧、以毫秒(ms)計的響應時間以及高度穩(wěn)定可靠等優(yōu)點，因此是目前快速沉積工藝的理想解決方案。對于處理先進的NAND型閃存和其他高度重復的堆迭元器件來說，速度和可靠性越來越受重視，甚至被視為決定生產(chǎn)成敗的關鍵因素。對于這類應用來說，Paramount HFi 也是理想的解決方案。

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Advanced Energy 簡介

Advanced Energy (納斯達克：AEIS) 致力為任務關鍵型應用和工藝設備設計并制造先進精密的電源轉換、測量和控制系統(tǒng)解決方案，這方面的技術一直領先世界。Advanced Energy 一直為客戶提供各種電源解決方案，讓客戶可針對不同工業(yè)的各種復雜應用，開發(fā)各種創(chuàng)新產(chǎn)品，其中包括半導體工業(yè)設備、工業(yè)制品、生產(chǎn)設備、電信設備、數(shù)據(jù)中心計算系統(tǒng)和護理設備。Advanced Energy 擁有工程技術方面的專業(yè)知識，而且致力為世界各地的客戶提供誠摯的服務與技術支持，因此已成功與客戶建立了緊密的合作伙伴關系，讓客戶可以因應技術的發(fā)展趨勢開發(fā)新一代創(chuàng)新的電源技術，以配合公司未來業(yè)務的發(fā)展。Advanced Energy 總部位于美國科羅拉多州丹佛市，三十多年來一直致力為全球客戶提供盡善盡美的電源產(chǎn)品。如需查詢更詳細的相關資料，請登入www.advancedenergy.com網(wǎng)頁瀏覽。