近日，睿勵科學(xué)儀器（上海）有限公司（以下簡稱“上海睿勵”）多項(xiàng)工商信息發(fā)生變更，新增投資人中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司 （以下簡稱“中微公司”），注冊資本從此前的3.1億元增加至1.28億元，增幅逾38%。

目前，中微公司為上海睿勵的第一大股東，認(rèn)繳出資額8750萬元，持股比例20.4467%。值得一提的是，國家大基金亦為上海睿勵的股東之一，持股比例為12.35%。

 

據(jù)悉，中微公司增資上海睿勵在2020年便曾對外公告，2020年12月底，中微半導(dǎo)體宣布，擬對上海睿勵進(jìn)行增資。公告指出，中微半導(dǎo)體擬以現(xiàn)金方式向上海睿勵增資1億元，認(rèn)購上海睿勵新增注冊資本8333.33萬元，認(rèn)購單價(jià)為1.2元/股（注冊資本）。本次增資完成后，上海睿勵注冊資本增加至4.28億元，公司持有上海睿勵股權(quán)比例為20.4467%。

 

資料顯示，上海睿勵成立于2005年6月，致力于集成電路生產(chǎn)前道工藝檢測領(lǐng)域設(shè)備研發(fā)和生產(chǎn)，主營產(chǎn)品為光學(xué)膜厚測量設(shè)備和光學(xué)缺陷檢測設(shè)備以及硅片厚度及翹曲測量設(shè)備等，是國內(nèi)少數(shù)幾家進(jìn)入國際領(lǐng)先的12英寸生產(chǎn)線的高端裝備企業(yè)之一，并且是國內(nèi)唯一進(jìn)入某韓國領(lǐng)先芯片生產(chǎn)企業(yè)的國產(chǎn)集成電路設(shè)備企業(yè)。

 

上海睿勵自主研發(fā)的12英寸光學(xué)測量設(shè)備TFX3000系列產(chǎn)品，已應(yīng)用在65/55/40/28納米芯片生產(chǎn)線并在進(jìn)行了14納米工藝驗(yàn)證，在3D存儲芯片產(chǎn)線支持64層3D NAND芯片的生產(chǎn)，并正在驗(yàn)證96層3D NAND芯片的測量性能。其應(yīng)用于LED藍(lán)寶石襯底圖形檢測的自動光學(xué)檢測設(shè)備，也已成功銷售到眾多國內(nèi)LED PSS襯底和LED芯片生產(chǎn)線。

 

據(jù)中微公司公告介紹，上海睿勵正在開發(fā)下一代可支持更高階芯片制程工藝的膜厚和OCD測量設(shè)備以及應(yīng)用于集成電路芯片生產(chǎn)的缺陷檢測設(shè)備，進(jìn)一步擴(kuò)大可服務(wù)的市場規(guī)模。

 

中微公司表示，本次投資上海睿勵將使公司能夠布局集成電路工藝檢測設(shè)備領(lǐng)域，是公司聚焦并落實(shí)高端芯片設(shè)備戰(zhàn)略的又一步驟，系公司為完善業(yè)務(wù)布局而進(jìn)行的投資。