日前，華特氣體與四川紅華實(shí)業(yè)正式簽訂了高純?nèi)壬a(chǎn)技術(shù)合作開發(fā)協(xié)議。其中，四川紅華實(shí)業(yè)為中國核工業(yè)集團(tuán)有限公司全資孫公司。
據(jù)華特氣體官網(wǎng)中描述，高純?nèi)仁且环N新型蝕刻材料，主要用于芯片制程中的蝕刻、硅片和腔體清洗過程。且由于其氟碳比較高，氟離子自由基較強(qiáng)，這一氣體在先進(jìn)制程中的應(yīng)用愈加廣泛，特別在14nm以下制程中具有不可替代的作用。
同時(shí)，華特氣體認(rèn)為，相比于普通的氟碳蝕刻材料，高純?nèi)鹊腉WP值（全球變暖潛能值）極低，滿足了未來芯片制程向更環(huán)保、更可持續(xù)方向發(fā)展的需求。而此前，高純?nèi)犬a(chǎn)品市場(chǎng)主要為日本、美國企業(yè)所壟斷，國內(nèi)較少見到高純?nèi)瓤捎糜谛酒瞥痰膱?bào)道。
對(duì)于此次合作，華特氣體表示，紅華實(shí)業(yè)技術(shù)研發(fā)能力強(qiáng)、檢測(cè)手段齊全，雙方共同研發(fā)高純?nèi)认嚓P(guān)核心技術(shù)，能夠在這一領(lǐng)域打破國外壟斷，快速實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代。未來，隨著半導(dǎo)體工藝的不斷升級(jí)迭代，高純?nèi)仍谛酒圃?、第三代半?dǎo)體、面板等領(lǐng)域?qū)碛懈鼜V闊的市場(chǎng)潛力。
