日前，晶盛機(jī)電在投資者互動(dòng)平臺上回復(fù)表示，公司12英寸單晶硅生長爐及部分加工設(shè)備已實(shí)現(xiàn)批量銷售。

 

圖片來源：深交所互動(dòng)易截圖

 

有投資者在互動(dòng)平臺上問及，晶盛機(jī)電在半導(dǎo)體晶體生長方面的行業(yè)地位和競爭優(yōu)勢以及目前研發(fā)和新技術(shù)項(xiàng)目儲備等相關(guān)情況，晶盛機(jī)電回應(yīng)表示，公司積極布局“長晶、切片、拋光、外延”四大核心環(huán)節(jié)設(shè)備的研發(fā)，在半導(dǎo)體材料用關(guān)鍵設(shè)備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)國產(chǎn)化突破。

 

晶盛機(jī)電進(jìn)一步表示，公司通過承擔(dān)國家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”項(xiàng)目的“300mm硅單晶直拉生長裝備的開發(fā)”和“8英寸區(qū)熔硅單晶爐國產(chǎn)設(shè)備研制”兩項(xiàng)課題，實(shí)現(xiàn)集成電路8-12英寸半導(dǎo)體長晶爐的量產(chǎn)突破。

 

據(jù)晶盛機(jī)電披露，目前公司基本實(shí)現(xiàn)8英寸晶片端長晶到加工的全覆蓋，且已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)和批量出貨；12英寸單晶硅生長爐、滾磨設(shè)備、截?cái)嘣O(shè)備、研磨設(shè)備、邊緣拋光設(shè)備已通過客戶驗(yàn)證，并取得良好反響，12英寸單晶硅生長爐及部分加工設(shè)備已實(shí)現(xiàn)批量銷售，其他加工設(shè)備也陸續(xù)客戶驗(yàn)證中。