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英諾激光:目前公司產(chǎn)品在芯片制造領(lǐng)域的應(yīng)用為晶圓加工缺陷檢測、碳化硅退火等制造工序

日期:2021-07-26 來源:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)閱讀:467
核心提示:英諾激光:目前公司產(chǎn)品在芯片制造領(lǐng)域的應(yīng)用為晶圓加工缺陷檢測、碳化硅退火等制造工序
 有投資者在投資者互動平臺提問:半導(dǎo)體芯片制造部分關(guān)鍵工序中,穩(wěn)定可靠的高功率綠光、紫外和深紫外激光器是有效加工手段之一,貴司是全球少數(shù)能夠提供應(yīng)用于LOW-K材料半導(dǎo)體晶圓分切的深紫外激光器的廠商之一。是不是意味著貴司的產(chǎn)品在半導(dǎo)體芯片制造中不可或缺。
 
英諾激光(301021.SZ)7月26日在投資者互動平臺表示,您好,感謝您對公司的關(guān)注!目前公司產(chǎn)品在芯片制造領(lǐng)域的應(yīng)用為晶圓加工缺陷檢測、碳化硅退火等制造工序。
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